Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
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54<br />
4. Methodische Vorgehensweise<br />
______________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________<br />
Tabelle 4: Von Chlorsilanen abgeleitete Methylsilane als potenzielle SiC Precursoren<br />
Name Si : C<br />
Verhältnis<br />
Siliciumtetrachlorid<br />
-<br />
SiCl4<br />
Trichlormethylsilan<br />
CH3SiCl3<br />
Dichlordimethylsilan<br />
C2H6SiCl2<br />
Chlortrimethylsilan<br />
C3H9SiCl<br />
Tetramethylsilan<br />
C4H12Si<br />
Tetramethyldichlordisilan<br />
C4H12Si2Cl2<br />
Pentamethylchlordisilan<br />
C5H15Si2Cl<br />
Hexamethyldisilan<br />
C6H18Si2<br />
1 : 1<br />
1 : 2<br />
1 : 3<br />
1 : 4<br />
1 : 2<br />
1 : 2,5<br />
1 : 3<br />
* gemäß ABCR Internet Katalog [Abc01]<br />
Cl<br />
C<br />
Struktur Tb [°C] Arbeits-<br />
sicherheit*<br />
Cl<br />
Cl Si Cl<br />
Cl<br />
C<br />
C<br />
C<br />
Cl<br />
Cl<br />
Si<br />
Cl<br />
Cl<br />
Si<br />
Cl<br />
C<br />
Si<br />
Cl<br />
C<br />
C<br />
C<br />
C<br />
C Si C<br />
C<br />
C<br />
Si<br />
C<br />
C<br />
C<br />
C<br />
Si<br />
Si<br />
C<br />
C<br />
Si Cl<br />
C<br />
C<br />
Si Cl<br />
C<br />
C<br />
Si C<br />
C<br />
57,6 reizend<br />
66,4 reizend,<br />
entflammbar<br />
69,5 reizend,<br />
entflammbar<br />
57,5 ätzend,<br />
entflammbar<br />
27 hochentzündlich<br />
~ 150 ätzend,<br />
hochentzündlich<br />
134,5 reizend,<br />
entflammbar<br />
112,5 reizend,<br />
entflammbar
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