Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
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5. Versuchsdurchführung<br />
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Die Sonde weist einen Außendurchmesser <strong>von</strong> 3,17 mm und einen Öffnungsdurchmesser <strong>von</strong><br />
0,66 mm <strong>auf</strong>. Sie ist mit einer thermisch gespritzten YPSZ Wärmedämmschicht beschichtet,<br />
um den möglichen Anwendungsbereich zu höheren Temperaturen zu erweitern. Die Flussrate<br />
des Kühlwassers V´H2O beträgt ca. 0,85 l/min bei einem Druck <strong>von</strong> 5,5 bis 8,3 MPa. Die<br />
Messdaten werden an der Messeinheit (V´H2O, TH2O,Ein, TH2O,Aus, V´Gas, TGas) bzw. an zusätzlich<br />
angebrachten Messgeräten (pKammer, pSonde) abgelesen, dokumentiert und ausgewertet. Das Be-<br />
stimmen der lokalen Plasmatemperatur aus den Enthalpiewerten erfolgt durch lineare Interpolation<br />
der Daten aus den temperatur- und druckabhängigen Tabellen des Plasmacodes [Pfe92].