Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

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4. Methodische Vorgehensweise
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Octamethylcyclotetrasilazan
C8H28N4Si4
Octamethyltrisiloxan
C8H24O2Si3
Octamethyltetrasiloxan
C8H26O3Si4
C
1 : 2 : 1 Si
1 : 2,67 : 0
1 : 2 : 0
* gemäß ABCR Internet Katalog [Abc01]
C
C
C
N N
Si Si
N N
Si
C
C
C Si O
C
C
Si O
C
C
Si
C
C
Si
C
C
O Si
C
O Si
C
C
C
C
C
C
C
O Si
C
65 /
134
-86 /
152,5
- /
169
entflammbar,
reizend
entflammbar,
reizend
entflammbar
Precursorauswahl
Als chlorhaltiger Precursor kommt neben den handelsüblichen Monosilanen Trichlormethylsilan
mit einem Si / C Verhältnis von 1:1 und Trimethylchlorsilan mit einem Si / C Verhältnis
von 1:3, die als Modellprecursoren dienen, auch die Disilanfraktion der Abfallprodukte der
Müller-Rochow Synthese zum Einsatz. Somit kann zum einen systematisch der Einfluss der
Precursorstöchiometrie analysiert werden und zum anderen das Potenzial des TPCVD
Verfahrens zur Verwertung von Abfallstoffen bei der Synthese hochwertiger SiC Schichten
geprüft werden. Eine typische Zusammensetzung der Disilanfraktion ist in Abbildung 13
wiedergegeben.
Darüber hinaus werden Aminodisilane in die Untersuchungen einbezogen. Die mittels NMR-
Spektroskopie ermittelte Zusammensetzung der wesentlichen Bestandteile der Aminodisilane
ist in Abbildung 14 dargestellt. Es ergibt sich ein mittleres Si / C Verhältnis von 1:6,8, ein
Si / N Verhältnis von 1:1,4 und ein Si / Cl Verhältnis von 1:0,4. Die Substitution von Chlor
durch Diethylaminfunktionen an den Siliciumatomen resultiert zum einen in Si-C-N Single
Precursoren und zum anderen in einem niedrigen Chlorgehalt, so dass die Anlagenkomponenten
weniger belastet werden.