Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
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Verwendete Formelzeichen<br />
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Verwendete Formelzeichen<br />
Formelzeichen Einheit Erläuterung<br />
a Ǻ Abstand zwischen Gleichgewichtslagen<br />
C Konzentration, Anteil<br />
d nm; µm; mm Abstand, Dicke, Durchmesser<br />
d´ µm/h Abscheiderate, Schichtwachstumsrate<br />
D m/s Diffusionskoeffizient<br />
E GPa E-Modul<br />
g statistisches Gewicht<br />
h kJ/kg; kJ/mol Enthalpie<br />
I A Stromstärke<br />
K Formfaktor<br />
m´ kg/s Massenflussrate<br />
M kg/mol Molmasse<br />
n cm -3 Teilchendichte<br />
N Anzahl<br />
p Pa; kPa Druck<br />
P KW Leistung<br />
Q´ W Wärmestrom<br />
∆Q´ W Wärmestromdifferenz<br />
S Übersättigungsverhältnis<br />
T K; °C Temperatur<br />
∆T K Temperaturdifferenz<br />
U V Spannung<br />
v m/s Gasgeschwindigkeit<br />
V cm 3 Volumen<br />
V´ l/min Volumenstrom<br />
W J Energie<br />
∆W J Energiedifferenz<br />
x Molarer Anteil<br />
Θ ° Beugungswinkel<br />
α 10 -6 K -1 Thermischer Ausdehnungskoeffizient<br />
β Halbhöhenbreite (im Bogenmaß)<br />
κ Quotient aus isochorer und isobarer Wärmekapazität<br />
λ W/m·K Wärmeleitfähigkeit<br />
ν s -1 Frequenz<br />
ρ g/cm 3 Dichte<br />
σ J/cm 2 Oberflächenspannung<br />
ω nm Wellenlänge
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