Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

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5. Versuchsdurchführung
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5.1.2 Prozesscharakterisierung
Für die emissionsspektroskopische Prozesscharakterisierung wird ein Kollimator, der entlang
der Plasmaachse verfahren werden kann und über eine optische Faser mit dem Spektrometer
außerhalb der Kammer verbunden ist, genutzt. Das vom Institut für Umwelttechnik, Flöha,
entwickelte akustooptische Spektrometer (AOS) zeichnet sich durch die Möglichkeit des
Erfassens einer beliebig gewählten Wellenlänge in weniger als 1 ms aus, wobei eine Auflö-
sung von 0,05 nm bei ω = 253,6 nm (Hg) bzw. 0,5 nm bei ω = 763 nm (Ar) und einer Apertur
von 10 mm Durchmesser erreicht wird. Der Winkel zwischen der Sensor- und Plasmaachse
beträgt konstant 90°.
Die frei zugängliche Wellenlängenauswahl des akustooptischen Spektrometers beruht auf der
Ultraschallanregung eines Kristalls, was zu einer frequenzabhängigen Transparenz einer
bestimmten Wellenlänge führt.