Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
78<br />
6. Untersuchungsergebnisse<br />
______________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________<br />
bei 471,5 nm ausgewählt, während aus der zweiten Bande zwischen 500 und 520 nm die<br />
zweitintensivste Linie bei 513,0 nm analysiert wird, da die intensivste Linie bei 516,5 nm <strong>von</strong><br />
einer Argonlinie überlagert ist.<br />
Um keinen Einfluss der lateralen Verbreiterung des Plasmastrahls und der Diffusivität der<br />
entsprechenden Spezies in die Messungen einzubeziehen, werden Strahlprofile in konstantem<br />
Abstand <strong>von</strong> der Brennerdüse <strong>auf</strong>gezeichnet (Abbildung 25) und nach Subtraktion des Strahlungsuntergrunds<br />
(Basiskurve) die Fläche unter den Kurven integriert. Die Profile der Argonund<br />
Wasserstoffspezies weisen nach, dass die Aufweitung des Plasmastrahls 10 mm hinter der<br />
Brennerdüse, deren Öffnungsdurchmesser 5 mm beträgt, gering ist. Dem Temperaturprofil<br />
entsprechend liegen <strong>auf</strong> der Strahlachse weitaus höhere Dichten angeregter Atome als am<br />
Strahlrand vor.<br />
Abbildung 25: Emissionsprofile für charakteristische Wellenlängen <strong>von</strong> Plasmagasspezies<br />
bei einem Brennerabstand <strong>von</strong> 10 mm<br />
Die Intensitätsdaten werden normiert und logarithmisch gegen den Abstand <strong>von</strong> der Brennerdüse<br />
<strong>auf</strong>getragen. Die im sichtbaren Wellenlängenbereich abgeleitete Speziesdichte-Brennerabstand<br />
Funktion für einen frei expandierenden Plasmastrahl ist in Abbildung 26 dargestellt.<br />
Die Dichte angeregter Spezies der Plasmagase nimmt nach einem kurzen Plateau vom<br />
Brennerausgang an überexponentiell ab, während für Spezies, die <strong>auf</strong> die Injektion der<br />
Ausgangsstoffe zurückzuführen sind, ein Anstieg bis zu einem Maximalwert gefolgt <strong>von</strong> einer<br />
überexponentiellen Abnahme beobachtet wird. Ein Erhöhen des Plasmastroms <strong>von</strong> 400 <strong>auf</strong><br />
500 A ist mit einer Zunahme der Plasmaleistung <strong>von</strong> 13 <strong>auf</strong> 14,5 kW verbunden. Daraus re-
Change language