Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
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Verwendete Indizierung und Konstanten<br />
9<br />
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Verwendete Indizierung<br />
Index Erläuterung<br />
1, 2, 3, ... Ereignisnummer<br />
Akt. Aktivierungsenergieterm<br />
Ar Bezug <strong>auf</strong> das Prozessgas Argon<br />
Aus Bezugsort Austritt<br />
b Bezug <strong>auf</strong> das Sieden eines Stoffes<br />
dyn. Dynamischer Anteil<br />
e Elektron<br />
Ein Bezugsort Eintritt<br />
Gas Bezug <strong>auf</strong> eine analysierte Gasströmung<br />
ges Gesamtwert<br />
h Atom oder Ion<br />
H2<br />
Bezug <strong>auf</strong> das Prozessgas Wasserstoff<br />
H2O Bezug <strong>auf</strong> das Kühlwasser<br />
HMDSO Bezug <strong>auf</strong> den Precursor HMDSO<br />
i Ereignis- oder Zustandszählfaktor<br />
Kammer Bezugsort Reaktorkammer<br />
Kristall Bezug <strong>auf</strong> einen Kristallit<br />
krit. Grenzwert<br />
m Bezug <strong>auf</strong> das Schmelzen eines Stoffes<br />
Mon. Bezug <strong>auf</strong> ein Monomer<br />
N2<br />
Bezug <strong>auf</strong> das Prozessgas Stickstoff<br />
Prec. Bezug <strong>auf</strong> den Precursor<br />
RT Bei Raumtemperatur<br />
S Bezug <strong>auf</strong> die Oberfläche<br />
Sat Sättigungswert<br />
Sonde Bezugsort Enthalpiesondeninneres<br />
Stau Bei behinderten Flussbedingungen<br />
Sub Bezug <strong>auf</strong> das Substrat<br />
v Bezug <strong>auf</strong> die Dampfphase<br />
W Wechselwirkungsenergieterm<br />
Zerst. Bezug <strong>auf</strong> das Zerstäubergases<br />
Verwendete Konstanten<br />
Konstante Wert Erläuterung<br />
c 2,998·10 8 m/s Lichtgeschwindigkeit<br />
cH2O 4,185 kJ/kg·K Wärmekapazität <strong>von</strong> Wasser<br />
h 6,626·10 -34 J·s Planck´sches Wirkungsquantum<br />
k 1,381·10 -23 J/K Boltzmann Konstante<br />
R 8,3441 J/mol·K Allgemeine Gaskonstante
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