Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
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4. Methodische Vorgehensweise<br />
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Tabelle 1: Parameter zum Herstellen <strong>von</strong> Mo Beschichtungen mit Tekna APS DC<br />
Brenner und Metco 63 N Pulver (Sulzer Metco AG), 45 < d < 75 µm<br />
Parameter Werte<br />
Generatorleistung [kW] 27,5<br />
Plasmastrom [A] 500<br />
Spritzabstand [mm] 100<br />
Primärgas: Argon<br />
Flussrate [l/min] 35<br />
Sekundärgas: Wasserstoff<br />
Flussrate [l/min] 7<br />
Trägergas: Argon<br />
Flussrate [l/min] 5<br />
Pulverförderrate [g/min] 37,5<br />
Tabelle 2: Materialeigenschaften der eingesetzten Substratwerkstoffe<br />
Werkstoff Tm [K] λRT [W/m·K] αRT [10 -6 K -1 ] ERT [GPa] ρRT [g/cm 3 ]<br />
S235JR 1800 50 12 210 7,9<br />
X5CrNi18-10 1780 15 18 190 8,0<br />
Al 99,5 930 220 23 70 2,7<br />
Al Mg 1,5 930 150 23 70 2,7<br />
Cu 1360 360 17 130 8,9<br />
Cu Zn 10 1310 180 18 125 8,8<br />
Ti 1940 22 8,5 110 4,5<br />
Si 1690 150 2,5 135 2,3<br />
Mo 2895 140 4,5 325 10,3<br />
C / SiC<br />
Graphit<br />
SiC (bulk)<br />
Si3N4 (bulk)<br />
Zers. 2820 125 1,8 190 2,5<br />
Subl. 4100 90 2,5 30 2,3<br />
Zers. 2820 100 5,0 400 3,2<br />
Zers. 2170 25 3,0 300 3,2
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