Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

4. Methodische Vorgehensweise
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Tabelle 5: Chlorfreie Singleprecursoren für die Si-C(-N) Schichtsynthese
Name Si : C : N
Verhältnis
Tetramethyldisiloxan
1 : 2 : 0
(TMDSO)
C4H14OSi2
Tetramethyldisilazan
C4H15NSi2
Hexamethyldisiloxan
(HMDSO)
C6H18OSi2
Hexamethyldisilazan
(HMDSZ)
C6H19NSi2
Nonamethyltrisilazan
C9H27NSi3
Hexamethylcyclotrisilazan
C6H21N3Si3
Hexamethylcyclotrisiloxan
C6H18O3Si3
1 : 2 : 0,5
1 : 3 : 0
1 : 3 : 0,5
1 : 3 : 0,33
1 : 2 : 1
1 : 2 : 0
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
Si
Si
C
C
C
C
C
N
Si
O
Si
Si
Si
Struktur Tm / Tb
[°C]
O
N
H
O
N
H
Si
Si
C Si C
Si
C
C
C
N
Si
N
Si
O
C
C
C
C
C
C
C
Si C
C
C
Si C
C
C
Si C
C
N
Si
O
Si
C
C
C
C
- /
70,5
- /
99,5
-67 /
99
-80 /
126
69,5 /
75,5
-10 /
187
65 /
134
Arbeits-
sicherheit*
reizend,
entflammbar
entflammbar
hochentzündlich
ätzend,
gesundheitsschädlich,
entflammbar
reizend
gesundheits-
schädlich,
reizend
entflammbar,
reizend