Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

6. Untersuchungsergebnisse
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3000 cm -1 , die auch für Schichten aus Aminodisilanen (Abbildung 45) nachgewiesen werden,
können nicht zugeordnet werden. Das Entstehen von C-H Bindungen in Folge einer Wärmebehandlung
in Argon erscheint unmöglich. Dagegen sind C-H Bindungen in einer unbehandelten
Schicht aus Aminodisilanen denkbar, zumal die Bande zwischen 1000 und 1200 cm -1
als Überlagerung von Banden, die auf Si-O und Si-CH2-Si Schwingungen zurückzuführen
sind, gedeutet werden kann. Dies erscheint zulässig, zumal auch die Si-CH2-Si Bande bei ca.
1350 cm -1 , wenn auch nur schwach ausgeprägt, detektiert wird.
Abbildung 44: IR Spektrum einer vom Siliciumsubstrat abgelösten Schicht aus einer
Chlordisilanmischung nach einer Wärmebehandlung bei 900 °C
Die Schicht aus der Aminodisilanmischung enthält wiederum adsorbiertes Wasser und
Banden, die Si-C (810 cm -1 ) und Si-Cl (470 cm -1 ) zugeordnet werden können. Andere
untergeordnete Banden bei 700 sowie zwischen 1400 und 1500 cm -1 sind nicht zuzuordnen.