Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...
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4. Methodische Vorgehensweise<br />
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vorliegenden Spezies in die Messungen einzubeziehen, werden Strahlprofile <strong>auf</strong>gezeichnet<br />
und die Fläche unter den Kurven integriert. In Abbildung 15 ist eine Prinzipskizze der Messstrategie<br />
dargestellt.<br />
Abbildung 15: Prinzipskizze der Strategie zur Analyse <strong>von</strong> Reaktionen im Plasmastrahl<br />
4.4.2 Enthalpiesondenmessungen<br />
Seit den 60er Jahren werden Enthalpiesondenmessungen zur Diagnostik thermischer Plasmen<br />
herangezogen und haben in den späten 80er Jahren eine hohe Bedeutung in der Forschung<br />
erlangt. Diese berührende Diagnosetechnik erlaubt das simultane Erfassen der mittleren<br />
Enthalpie, Temperatur und Gasgeschwindigkeit an einem diskreten Ort im Plasmastrahl über<br />
eine Wärmebilanz des Kühlwassers der Sonde und die Bestimmung des Staudrucks, der sich<br />
in der Sonde ausbildet. Enthalpiesondensysteme bestehen aus einer wassergekühlten Sonde,<br />
der Aufnahme mit den Anschlüssen für die benötigten Leitungen sowie einer Versorgungs-,<br />
Kontroll- und Messeinheit. Moderne Systeme sind mit automatischen Verfahreinrichtungen<br />
und Datenerfassungssystemen ausgerüstet. Eine Prinzipskizze einer Enthalpiesonde ist unter<br />
Angabe der Messgrößen in Abbildung 16 dargestellt.
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