Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

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6. Untersuchungsergebnisse
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um eine aktivierte Substratoberfläche zu erzielen, wobei der Ätzprozess kontrolliert werden
muss, um die Korngrenzen des Substrats nicht unzulässig zu schädigen. Beim Abscheiden auf
Molybdänsubstraten entstehen nur in Ausnahmefällen Reaktionsschichten. Außer MoO2, das
bei hohen Substrattemperaturen und dem Einsatz von TMDSO gebildet wird, kann auch
Mo2C und beim Einsatz von HMDSZ Mo2N entstehen (Abbildung 66).
Plasmastrom: 300 A Brennerabst.: 55 mm
Plasmagas: Ar / H2 (25 / 0,5 l/min) Zerstäubergas: Ar (7,5 l/min)
Abbildung 66: Diffraktogramm einer auf Molybdän synthetisierten teilkristallinen Drei-
Brenner DC Plasmajet CVD Schicht aus HMDSZ mit Reaktionszonen
EDX Analysen erlauben qualitative Aussagen über die chemische Zusammensetzung von
kleinen Schichtbereichen. Der Durchmesser des Messflecks, aus dem Informationen gewonnen
werden, beträgt minimal ca. 1 µm. Neben Silicium und Kohlenstoff wird in Schichten aus
HMDSZ unabhängig von der Zusammensetzung des Plasma- und Zerstäubergases grundsätzlich
Stickstoff nachgewiesen. Auch Schichten, die aus HMDSO oder TMDSO mittels Ar / N2
Plasmen hergestellt werden, enthalten Stickstoff. Somit kann Stickstoff aus dem Plasmagas
ebenso wie aus der Precursorstruktur in die Schichten eingebaut werden. Dass auch in Schichten,
die mittels reiner Ar oder Ar / H2 Plasmen unter Einsatz von HMDSO und in Ausnahmefällen
auch von TMDSO synthetisiert wurden, teilweise Stickstoff nachgewiesen werden