Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis - Qucosa ...

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6. Untersuchungsergebnisse
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Abbildung 57: Enthalpie von Ar - N2 Gemischen in Abhängigkeit von der Temperatur
[Bou94]
Die unterschiedliche Kühlwirkung der Gase beruht auf ihrer Wärmekapazität in Abhängigkeit
von der Temperatur. Durch Integration dieser Funktionen über der Temperatur wird die
Enthalpie erhalten. Die molare Enthalpie des Wasserstoffs ist im gesamten betrachteten Temperaturbereich,
der für das Aufheizen von Zerstäubergasen relevant ist, größer als für Stickstoff,
Argon oder Helium (Abbildung 58). Mit einsetzender Dissoziation des molekularen
Wasserstoffs und Stickstoffs geht ein sprunghafter Anstieg der Enthalpie einher. Da Argon
bereits atomar vorliegt entfällt dieser Mechanismus zur Energieaufnahme. Die Dissoziation
des Stickstoffs geschieht erst bei deutlich höheren Temperaturen als bei Wasserstoff, so dass
die Kühlwirkung des Stickstoffs erst für Aufheiztemperaturen oberhalb 5.000 K die von Argon
übersteigt.