2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

DIFFRAKTIONSERGEBNISSE 9778 A-4-20 2 419 C∆G | |G [10-3 ]Intensität-20 294 A-1 0-2 0-2 0∆G ⊥G [10-3 ]-10 1Abbildung (76b):Zweidimensionale Abrasterung der reziproken Streuebene mit den Röntgendreikristalldiffraktometern.Die Ausschnitte liegen um die 022 Reflexe einiger Stufen und Gradientenkristalle.Der Maßstab ist für alle vier Teilbilder identisch. Die gestrichelten Linien geben das um denBraggwinkel verscherte Koordinatensystem der longitudinalen und transversalen Richtungenwieder. Am Ursprung liegt jeweils der intensive Substratreflex, während sich zu kürzerenStreuvektoren die Beiträge der Si 1-x Ge x Legierungen erstrecken. Die transversale Verbreiterungerleidet hauptsächlich in den ersten Schichten einen kräftigen Sprung, während sie inzunehmender Entfernung vom Substrat bedeutend weniger zunimmt. Die Intensitätsverteilungenkönnen transversal integriert werden und sind in den nachfolgenden Abbildungenzusammengestellt.