2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

DER NEUE OFEN 655.2.2.2. Der neue OfenWie wir sehr bald gelernt haben, ist die zuvor beschriebene Art von Reaktionsofen für unsereZwecke ungeeignet. Sie war wohl mit Erfolg für dünne, epitaktische Schichten bei niedrigenZersetzungstemperaturen und schnellen Aufheizbedingungen konzipiert, wohingegen wir inunserer Anlage dicke Schichten durch hohe Wachstumsraten erzielen wollen und somit hoheTemperaturen bei hohen Gasflüssen über lange Zuchtzeiten beanspruchen. Daher konzentriertenwir uns auf ein internes Heizelement und gaben einen wassergekühlten Kessel in Auftrag,wie er in Abbildung (39) dargestellt ist. Innerhalb diesem konnten verschiedene Typen vonHeizelementen und Gasführungssystemen ausprobiert werden.Im wesentlichen besteht der aus Edelstahl gefertigte Ofen aus einem runden, wassergekühltenKessel, der nach oben hin durch einen ebenfalls gekühlten Deckel abgeschlossen wird.Durchmesser und Höhe betragen rund 30 cm. Die Reaktionsgase werden durch ein Röhrchenin der Deckelmitte eingeleitet und am Boden abgepumpt.Im Inneren des Kessels befindet sich, wie in Abbildung (40) dargestellt, eine waagerechteQuarzglasscheibe mit einem Durchmesser von 15 cm, auf die das Siliziumsubstrat gelegtSiH 4 GeH 4GaseinlaßVakuumkammerGasführungssystemSubstratQuarztischKeramikwolleHeizelementThermoelementzu den PumpenWasserkühlungelektrische AnschlüsseAbbildung (39):Schematische Darstellung des für die Gasphasenepitaxie entwickeltenZuchtofens.