2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

DIE MEßERGEBNISSE AN STUFENKRISTALLEN 107so besitzen sie eine starke Asymmetrie zugunsten längerer Streuvektoren, also kürzererGitterkonstanten. Auch zwischen den Maxima findet sich eine, gegenüber dem Untergrund inden Ausläufern des Spektrums deutlich erhöhte Intensität. All das deutet darauf hin, daßwährend der Kristallzucht die Anpassung der Gitterkonstanten der Germaniumkonzentrationnachhinkt. Wir gehen vom idealen Silizium, dem Substrat aus und schalten, durch den hohenGasfluß gewährleistet, plötzlich auf eine erhöhte Germaniumkonzentration um. Das bereitsaufgebaute Gitter kann ohne schwerfällige Versetzungsbewegungen nicht mehr verändertwerden, wodurch die Spannungen der Fehlanpassung erst in den darüberliegenden Schichten,direkt während des Wachstums durch Versetzungen allmählich abgebaut werden und somitdas Gitter langsam seinen Netzebenenabstand an den erwarteten Wert anpaßt.