2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

72 ZUCHTERGEBNISSEzur Orientierung. Hier wurde keine explizite Temperaturabhäbgigkeit bei konstantem Gasflußmehr aufgenommen. Die Wachstumsraten sind nochmals in Abbildung (46) histographischdargestellt. Bei den Proben 1 C – 10 C wurde das Heizelement optimiert und auf einemöglichst hohe Wachstumsrate bei festem Fluß hingearbeitet. Ab 10 C – 13 C wurdenverschiedene Gasführungssysteme zur Optimierung der Homogenität ausprobiert. Die Wachstumsratensind eher gering. Bei Probe 14 C wurde die Silankonzentration im Argongemischder Druckflaschen von 1 % auf 3 % erhöht, was sich deutlich in der Wachstumsrate niederschlägt.Die Proben 17 C – 20 C, 28 C und 42 C sind mit Hinblick auf Beugungsexperimentegezogen worden, weshalb zugunsten der Kristallinität nur mit dem halben oder bei 42 C mitdreiviertel Maximalfluß gearbeitet wurde.Wie wir in Abbildung (45) sehen, hängt die Wachstumsrate nicht nur von der Temperatur,sondern von einer Vielzahl von Parametern ab. Daher ist ein weiterer, wichtiger Gesichtspunktdie Ausbeute, nämlich der auf dem Substrat niedergeschlagene Anteil Siliziummassezur gasförmig zugeführten, alsoη = m SiDepotmSiGas= m SiDepotSit Φ . (207)ρ GasDarin sind mSi SiDepot der gemessene Probenmassenzuwachs, ρ Gas = 1,25 mg die partielle Gasdichtefür Silizium in Silan, Φ der Silanfluß und t die Aufwachszeit. Abbildung (47) zeigt diemlAusbeute für die einzelnen Proben. Vor allem sieht man hier, daß bei Halbierung der Flüssezwischen 16 C und 17 C praktisch kein Unterschied auftritt.5.4.1. Zusammenfassende Ergebnisse des ZuchtvorgangsDie maximalen Wachstumsraten liegen bei 0,6 µm / min, wobei anwendungsnahe Probenzugunsten der Kristallinität bei dem halben Wert gezogen wurden. Damit lassen sich innerhalbeiniger Stunden Kristalle für die Beugungsanalyse im 20 µm – 200 µm Bereich ziehen.Für dickere Kristalle bis zu 1 mm braucht man bei der Maximalrate etwas länger als einenTag. Die Ausbeute liegt mit ca. 15 % über dem Vierfachen der Werte um die 3,5 % des altenOfens und ist, insbesondere bei der gewählten Ofengeometrie äußerst zufriedenstellend.