2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

82 KRÜMMUNG DER KRISTALLEauf die weiteren Diffraktionsergebnisse auswirken wird. Typische Werte, auch für dünnereProben sind Radien von zwei bis zehn Metern. Wir sehen auch, daß die Proben nicht gleichmäßigund isotrop gebogen sind.6.3. Die Konzentrationsprofile und EinzelschichtdickenIm Vorangegangenen haben wir die geometrischen und kristallinen Eigenschaften derSi 1-x Ge x beschrieben und den Legierungsaspekt vernachlässigt. Ein Hauptpunkt der Kristallzuchtkonzentriert sich aber auch auf die Germaniumverteilung in der Siliziummatrix, etwaihren Anstieg als Funktion der Kristalldicke, die absoluten Konzentrationen des Festkörpersim Vergleich zur Gasphase, die Wachstumsgeschwindigkeit bei verschiedenen Zusammensetzungen.Zur Beantwortung dieser Fragen ist es notwendig, die Konzentrationsprofile über denKristallquerschnitt zu bestimmen. Neben komplizierteren, zerstörungsfreien Methoden, wiez. B. mit Rutherfordrückstreuung von A. Magerl durchgeführt [30], ist es naheliegend, dieProbe zu brechen und die Bruchkante mikroskopisch zu analysieren.Mit dem lichtoptischen Mikroskop läßt sich0.8dabei höchstens die Gesamtschicht erkennen, 40polykristallin0.6da das Depot wegen der vielen Fehlstellen etwasrauher bricht als das Substrat. Abbildung 2030kristallinkristallin0.4(64) stellt eine so gewonnene Dickenabhängigkeitals Funktion des Probenortes zusammen.1000.20.0Insbesondere bestätigt sie wieder die 0 2 4 6 8 10Position x [cm]Tendenz zu polykristallinem Wachstum beiAbbildung (64):überhöhter Rate.Lichtmikroskopisch an einer BruchkanteEin Kontrast zwischen Schichten verschiedenerGermaniumkonzentrationen läßt sich mit einkristallin, andere polykristallin gewach-gemessene Dickenabhängigkeit des Siliziumdepots14 C. Teile der Oberfläche sinddem Lichtmikroskop jedoch nicht erkennen.sen. Man erkennt die Tendenz polykristallinenWachstums bei erhöhter Rate.Nimmt man sich ein Elektronenmikroskop mitMikrosondenanalyse zu Hilfe, so kann man, wie im folgenden beschrieben, genaue Aussagenüber die Konzentrationsprofile erhalten. Dazu sollen zunächst die Grundzüge dieser Methodeerläutert werden, bevor wir die Daten einiger Gradienten- und Stufenkristalle zusammenstellen.Derartige Geräte standen uns in der Ruhruniversität Bochum sowie durch Auftragserteilungan der Universität in Grenoble zur Verfügung.Dicke [µm]50Wachstumsrate [µm/min]