2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

ZUCHTERGEBNISSE 71ProbeGerman / Silan[%]Zeit[min]Temp,[K]Dicke[µm]Rate[µm/min]78 A 4,31 - 8,26 2 · 60 1323 60 0,5082 A 2,20 - 4,31 - 6,32 - 8,26 4 · 20 1323 57 0,7183 A 0 —> 11,1 60 1323 41 0,6984 A 4,31 60 1323 46 0,7685 A 0 —> 8,26 180 1323 107 0,6086 A 0 —> 2,86 180 1323 98 0,5489 A 0 —> 2,86 1440 1323 787 0,5594 A 0 —> ≈ 4 1323 85013 C 6 115 1473 10 0,0917 C 1,6 - 3,2 2 · 120 1473 70 0,2918 C 1,6 - 3,2 2 · 244 1473 136 0,2819 C 0 - 0 —> 3,2 5 + 210 1480 65 0,3020 C 25 9 146528 C 0 - 5,9 - 10,7 - 15,2 - 19,3 - 23,0 - 26,4 29 + 6 · 60 1473 100 0,2629 C 0 - 25 30 + 1 1473 20 0,6530 C 0 - 6,3 30 + 1 1473 21 0,6842 C 0 —> 10,2 1920 1475 850 0,44Tabelle (7):Zusammenstellung einiger Zuchtbedingungen und -Ergebnisse für die wichtigsten,germaniumhaltigen Proben.Wachstumsrate [µm / min]0.70.60.50.40.30.20.10.0102030Probennummer (C-Serie)Abbildung (46):Zusammenstellung der Wachstumsraten für die verschiedenenProben der C-Serie.Ausbeute [%]302520151050102030Probennummer (C-Serie)Abbildung (47):Zusammenstellung der Ausbeuten für die verschiedenenProben der C-Serie.4040Die durchgezogene Linie stellteine anerkannte Grenze dar, diezwar überschritten werden kann,wovon die Autoren jedoch erfahrungsgemäßzugunsten der Kristallinitätabraten.Wir befinden uns mit sämtlichenZuchtergebnissen unterhalb dieserLinie. Dies mag unter anderemmit dem erheblich niedrigerenArbeitsdruck von nur einigenTorr zusammenhängen. Die rundenSymbole der A-Serie in Abbildung(45) zeigen ein ähnlichesSättigungsverhalten wie zuvorbeschrieben. Bei Erhöhung desSilanflusses kann jedoch dieWachstumsrate noch erheblichgesteigert werden. Die ausgefülltenDreiecke zeigen einige Ergebnisseder C-Serie und dienen