2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

80 DIE DREIECK- UND VIERECKSTRUKTURENProbe Orientierung Seitenlänge Kratertiefe Schichtdicke78 A [100] 95 µm 67 µm 63 µm (µ-Sonde)16 C [111] 22 µm 18 µm 16 µm (Wägung)17 C [111] 65 µm 53 µm 56 µm (µ-Sonde)30 C [111] 33 µm 27 µm 21 µm (Wägung)Tabelle (8):Zusammenstellung der Seitenlängen der regelmäßigen Wachstumsfiguren verschiedenerProben und die daraus berechnete Kratertiefe im Vergleich mit der durch Wägungoder Mikrosonde bestimmten Schichtdicke.6.2. KrŸmmung der KristalleDurch die thermische Abkühlung der Probek ikfvon der Zuchttemperatur auf die Umgebungerwartet man aufgrund verschiedener Ausdehnungskoeffizientenim Substrat und der aufgedampftenxωSchicht Gitterverzerrungen. Dabeigehen wir von dem Modell aus, daß das bei derhohen Temperatur sehr weiche Kristallgittermit den durch Germaniumbeimischungen hervorgerufenenAbbildung (61):Messung der makroskopischen Krümmungeines Kristalls. Bei Verschiebung der Probeum ∆x kann aus der Verschiebung desBraggmaximums um ∆ω auf den Krümmungsradiusgeschlossen werden.Fehlanpassungen durch Einbauvon Versetzungen möglichst relaxiert ist. Durch verschiedene thermische Ausdehnung in deneinzelnen Lagen kann beim Abkühlen ein Bimetalleffekt auftreten und somit eine makroskopischeKrümmung erscheinen. Dies wurde vor allem bei den dicken Kristallen beobachtet.Die Krümmung der gezogenen Kristalle kann mit Hilfe der Gammadiffraktometrie untersuchtwerden. Diese Methode ist wegen der kleinen Streuwinkel auf den Gradienten unempfindlichund eignet sich besonders gut zur Untersuchung der Verkippung von Gitterebenen. Die Meßanordnungist schematisch in Bild (61) wiedergegeben.Auf den fünf Instrumenten GAD1 - GAD5 am ILL werden eine gemeinsame 137 Cs Quelle miteiner Wellenlänge von λ Cs = 0,01874 Å, sowie eine gemeinsame 198 Au Quelle mitλ Au = 0,03011 Å angeboten. Die Auflösungen sind geometrisch durch die Quellengröße undeiner Blende vor der Probe bestimmt und betragen z. B. auf dem GAD1 Spektrometer4,4·10 -4 rad für die Cäsium- bzw. 1,2·10 -4 rad für die Goldquelle. Die Darwinbreiten fürideales Si [111] betragen bei obigen Wellenlängen etwa 4·10 -7 rad und sind damit gegen diegeometrische Auflösung völlig vernachlässigbar.