2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

DIE PROBENANALYSE 736. Die ProbenanalyseDie Analyse der mit obiger Methode gezüchteten Si 1-x Ge x Kristalle spielt einerseits, indemsie durch die erhaltenen Resultate auf die Eingangsparameter rückkoppelt, eine wichtige Rollefür die Zucht selbst, und führt andererseits über eine schlichte Qualitätskontrolle hinweg zuneuen Erkenntnissen. Angefangen bei der visuellen Begutachtung, über die Mikroskopie, dieMikrosondenanalyse bis hin zur Röntgen-, Gamma- und Neutronendiffraktometrie wurdenverschiedene Techniken zu verschiedenen Gesichtspunkten angewandt.6.1. Die optische MikroskopieDer erste Eindruck unmittelbar nach der Kristallzucht ergibt sich durch eine optische Begutachtungder Probenoberfläche. Gegen eine Lichtquelle betrachtet, kann sie entweder glänzendoder matt erscheinen, was einem kristallinen oder polykristallinen Wachstum zuzuschreibenist. Im ersten Fall ist die Oberfläche größtenteils entlang bevorzugten Gitterebenen ausgerichtet,so daß sie das Licht mit einem wohl definiertenAusfallswinkel reflektiert. Häufig ist die 120Oberfläche entlang weiteren Kristallrichtungen 10080mit Stufen oder regelmäßigen Strukturen übersät,was zu einem etwas matteren Erscheinungs-4060bild führt. Ist die Oberfläche hingegen grau,200ohne jegliches Spiegelbild, so handelt es sich um 13.8 14.0 14.2 14.4 14.6Probenwinkel [˚]polykristallines Wachstum, dessen wahllos orientierteOberflächenelemente das Licht diffus Röntgendoppelkristalldiffraktometrie inAbbildung (48):streuen. Dies konnte durch Röntgenstreuung ander aufgedampften Kristallschicht. Im optischglänzenden Bereich findet man einenverschiedenen Bereichen ein und derselben Braggreflex, also Einkristallinität, im mattgrauennur Untergrund, also Polykri-Probe bestätigt werden. Abbildung (48) zeigt diestallinität. (Cu K α an Probe 17 C).Reflektionskurven der nur in das Depot eindringendenCu K α Strahlung am 111-Reflex, einmal einen ausgeprägten Braggreflex im spiegelnden,das andere mal konstanten Untergrund im mattgrauen Bereich der Oberfläche.EreignisseNimmt man dem Auge ein Mikroskop zu Hilfe, so kann man schon weitaus bessere Aussagenüber die Kristallinität machen. Die Abbildungen (49) bis (54) zeigen einige, typische Erscheinungsformen,nämlich Polykristallinität im mattgrauen Bereich und regelmäßige, die Kristallorientierungwiderspiegelnde Strukturen im kristallinen Gebiet, nämlich Dreiecke auf einer(111)- und Vierecke auf einer (100)-Oberfläche.