2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

62 DAS GASZUFÜHRSYSTEMschon ein Konversationsfaktor γ angegeben, der durch (201) mit Stickstoff als Vergleichsgas1 hervorgeht.Wird ein Gemisch aus n Gasen verwendet, so addieren sich die Konversationsfaktoren, mitihren Volumenanteilen V n gewichtet, reziprok:1γ=n∑ν = 1V νγ ν. (203)GaschemischeFormelM[g / mol]ρ[g / l]c M[J K / mol]Silan SiH 4 32,118 1,438 42,870 0,88 0,596German GeH 4 76,622 3,423 44,271 0,88 0,580Wasserstoff H 2 2,016 0,090 28,698 1,00 1,016Chlorwasserstoff HCl 36,461 1,635 29,569 1,00 0,981Argon Ar 39,948 1,784 20,840 1,04 1,453Stickstoff N 2 28,014 1,250 29,135 1,00 1,000Tabelle (6):Materialkonstanten der verwendeten Gase: Molmasse M, Dichte ρ, molareWärmekapazität c M , Molekülformfaktor N und Konversationsfaktor γ zum Umeichender Massenflußregler in Bezug auf Stickstoff.Nγ5.2.1.2. Das GasabfŸhrsystemWährend das Gaszuführsystem dem Zuchtofen die Flüsse und Mischungsverhältnisse zurVerfügung stellt, regelt das Gasabführsystem seinen Druck. Es besteht im wesentlichen auseinem Rootspumpensystem, einem Druckmesser am Ofenausgang sowie einem Regelventil.Die einzelnen Komponenten sind durch Vakuumschläuche großen Durchmessers miteinanderverbunden. Abgase werden durch ein Kupferrohr aus dem Gebäude geleitet, an dessen Endesich auch schon mal durch die Silanreaktion mit dem Luftsauerstoff eine Flamme entzündenkann.Eine Elektronik sorgt wieder für den Vergleich des Druckes mit dem Sollwert um das Ventilzu regeln. Damit ist ein Druckbereich zwischen 0,1 und 10 Torr einstellbar, dessen untereGrenze jedoch sehr von dem durchströmenden Gasfluß abhängt und üblicherweise dann bei 1bis 2 Torr liegt.