2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

104 DIE MEßERGEBNISSE AN STUFENKRISTALLENIntensität [unnormiert]10 210 110 010 -110 -210 -378 A2102102220210 -4-3 -2 -1 0 1 2 3∆G ⊥ /G [10 -3 ]Abbildung (80):Transversale 45 keV Röntgenmessungen an 78 A. Die Legierungsreflexe sindwesentlich breiter als der Substratreflex. Die an sich symmetrischen 202 und 022Reflexe zeigen sehr unterschiedliche Breiten. Dies läßt auf eine vorwiegend vertikaleVerbiegung der Gitterebenen schließen.Den ersten drei Teilbildern in Abbildung (76) ist eine transversale Verbreiterung mit zunehmenderGermaniumkonzentration gemeinsam. Bei den Stufenkristallen nimmt diese Verbreiterungbesonders zwischen Substrat- und erstem Nebenreflex zu, während sie sich bei großenGradienten (19 C) linear und bei kleinen Gradienten (94 A) vernachlässigbar gegenüber dermakroskopischen Krümmung verhält.Die transversale Verbreiterung entspricht einer örtlichen Verkippung der Gitterebenen gegenüberder Vorzugsrichtung. Insbesonders werden bei der Bildung von Fehlanpassungsversetzungen,wie aus Bild (79b) oder (79c) an der Grenzschicht ersichtlich, die vertikal verlaufendenNetzebenen verbogen, während die horizontalen glatt bleiben. Genau dieser Sachverhaltwird auch in den Streudaten beobachtet und ist in Abbildung (80) dargestellt: Die Graphendes oberen Teilbildes wurden wiederum am 022 von 78 A gemessen, während die des unterenden 202 Vektor benutzten. Die Nebenmaxima des 022 Reflexes sind etwa 50 mal breiter alsdas fast ideale Substratmaximum, während die des 202 Reflexes sich nur um die Hälfteaufweiten. Aufgrund der geometrischen Betrachtung des um 45˚ aus der Normalen geneigtenStreuvektors hätten wir eine 0,7 fache Verringerung der Mosaizität erwartet. Dies läßttatsächlich darauf schließen, daß vorwiegend die vertikalen Gitterebenen verbogen werden,während die parallel zur Oberfläche liegenden relativ glatt bleiben.Betrachtet man die voll ausgeprägten Intensitäten der Verbreiterung, so kann die Verbiegungnicht nur an der Grenzfläche zwischen den Legierungen auftreten, sondern müssen sich