2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

98 DIE MEßERGEBNISSE AN STUFENKRISTALLEN7.2.1. Die Me§ergebnisse an StufenkristallenDie Stufenkristalle haben den Vorteil einer quantitativen Auswertung der aus den Zuchtparameternhervorgegangenen kristallinen Eigenschaften. Jede Schicht unterschiedlicher Konzentrationweist einen individuellen Braggreflex auf, deren Positionen, longitudinale und transversaleBreiten und integrierte Reflektionsvermögen insgesamt mehr Meßparameter liefernals bei Gradientenkristallen.Bild (77) zeigt im oberen Teilbild die über die Transversalkomponente integrierte Intensitätdes 45 keV Spektrums zu 28 C aus Bild (76). Man erkennt unter den acht Maxima den intensivenSubstratreflex, dicht daneben einen schmalen, also durch gute Kristallqualität ausgezeichnetenLegierungsreflex sowie sechs weitere Si 1-x Ge x Reflexe in größerer Entfernung.Die Meßkurve kann gut durch die durchgezogene Linie, die Summe von acht Lorentzkurvenbeschrieben werden. Aus den numerisch angepaßten Parametern gehen die Maximalpositionensowie die integrierten Reflektivitäten der individuellen Reflexe einer jeden Schicht hervorund lassen sich in den Tabellen (11) und (12) mit weiteren Daten vergleichen.Das untere Teilbild zeigt die mit der Flugzeitanalyse am Si [111] Reflex gewonnene Reflektionskurvedesselben Kristalls. Hier lassen sich die Meßwerte eher durch eine Gaußverteilungpro Maximum anpassen, da die Auflösungsfunktion durch den Strahlzerhacker bestimmt istund einer Dreiecksfunktion ähnelt. Das erste Nebenmaximum wird nicht mehr aufgelöst,während die anderen deutlich voneinander getrennt sind. Das Spektrum wurde auch inTransmission gemessen, womit die Ergebnisse absolut normiert werden konnten. Die erhaltenenWerte sind ebenfalls in den Tabellen (11) und (12) eingetragen.Aus den durch Mikrosondenanalyse gewonnenen Schichtdicken D wurden durch Gleichung(65) die auf das Kristallpotential normierten Dicken A der dynamischen Beugungstheoriesowie durch (95) die integrierten Reflektivitäten R y berechnet. Da die Einzelschichtdicken zuden Nebenreflexen wesentlich kleiner als die Pendellösungsperiode sind, wurden die experimentellenWerte R y durch die kinematische Beziehung Ry = π A kin auf die Dicken Aexpkinund D kin beider Einheitensysteme zurückgerechnet. Die experimentellen Ergebnisse für dieNebenmaxima liegen in derselben Größenordnung, aber systematisch etwas unterhalb dentheoretischen. Da der reflektierte Strahl über drei Detektoren summiert wurde, mag dieserIntensitätsverlust auf die nicht alles erfassende Detektoranordnung zurückzuführen sein. DieIntensitätsauswertung erscheint somit äußerst zufriedenstellend und spiegelt die erwartetenWerte der Theorie wider. Der Substratreflex hingegen fällt aufgrund von Spannungs- undVerzerrungsfeldern dreimal stärker aus als beim Idealkristall. Die Röntgenmessungen konntennicht absolut ausgewertet werden, weshalb diese Ergebnisse nur relativ mit den Dicken zuvergleichen sind.