2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

2 EINLEITUNGMaier-Leibnitz das Legierungssystem Si 1-x Ge x vorgeschlagen. Dabei spielt der durch dieHalbleiterindustrie begünstigte technische Aspekt weltweiter Erfahrungen auf dem Gebiet derAusgangsstoffe eine wesentliche Rolle. Allerdings stellte es sich sehr bald heraus, daß dieseKristalle nicht aus der Schmelze gezogen werden können.Mittlerweile hat die Methode der chemischen Gasphasenabscheidung ihren Platz in der Kristallzuchtbehauptet. Hier können Legierungskonzentrationen in einfacher Weise durch dieGaszusammensetzung geregelt werden. Gegenüber anderen Epitaxiemethoden zeichnet sichdie Gasphasenabscheidung durch erhebliche Wachstumsgeschwindigkeiten aus. Sie sind ingünstigen Fällen ausreichend, um millimeterdicke Kristalle innerhalb weniger Tage zu ziehen.So wurden in einer Machbarkeitsstudie der Monochromatorgruppe am Institut Laue-Langevinzusammen mit einer erfahrenen Epitaxiegruppe der Universität in Grenoble die Grundlagendieser Kristallzucht für das System Si 1-x Ge x ausgearbeitet.Die Aufgabe der vorliegenden Arbeit war die Ausweitung des Zuchtverfahrens auf großflächigeProben. Dazu mußten Teile der Kristallzuchtanlage neu konzipiert und aufgebaut werden.Nachdem die komplette Anlage eingefahren war, wurde zunächst auf die Bestimmungder optimalen Zuchtparameter mit Blick auf Homogenität, Kristallinität und Wachstumsratehingearbeitet, um schließlich für die Beugungsexperimente anwendungsnahe Proben zuziehen. Neben der strukturellen Charakterisierung, insbesonders aus dem Bereich derMaterialwissenschaften, spielen Beugungsexperimente an Gradientenkristallen mit RöntgenundNeutronenstrahlen eine wesentliche Rolle. Zur theoretischen Beschreibung der gemessenenReflektionskurven wurden verschiedene Ansätze im Rahmen der kinematischen undder dynamischen Theorie mit kohärenter oder inkohärenter Überlagerung gemacht. Diebeiden am weitesten vorangetriebenen, nämlich die kinematische Theorie sowie eine exakteTransfermatrizenmethode im Rahmen der dynamischen Beugungstheorie, werden in dieserSchrift hergeleitet und, über die Anwendung auf Gradientenkristalle hinaus, in vielen Ergebnissendiskutiert.