2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

DIFFRAKTIONSERGEBNISSE 957.2. DiffraktionsergebnisseDurch die dispersionslose, hochenergetische Röntgendreikristalldiffraktometrie können hochaufgelöste,zweidimensionale Ausschnitte aus der Streuebene im reziproken Raum abgetastetwerden. Abbildung (76) zeigt derartige Ergebnisse in der Umgebung des Si [ 022] Reflexesverschiedener Proben im gleichen Maßstab. Die Bildkoordinaten wurden direkt aus demProbenwinkel ω horizontal und dem Analysatorwinkel φ vertikal zusammengestellt. Dadurchergibt sich mit den Gleichungen (214) und (215) ein schiefwinkliges Koordinatensystem desreziproken Raumes, dessen Achsen durch gestrichelte Linien eingezeichnet sind. Die Streuintensitätensind logarithmisch durch den angegebenen Schlüssel kodiert und nicht absolutnormiert. Die Teilbilder 28 C und 78 A zeigen die Ergebnisse an Stufenkristallen, die anderenbeiden, 19 C und 94 A, die von Gradientenkristallen. Allen Teilbildern gemeinsam ist dasvom dicken Substrat herrührende, sehr intensive Hauptmaximum bei (0, 0). Bei den Stufenkristallentreten weitere Braggmaxima der einzelnen Schichten und bei den Gradientenkristallenje ein ausgeprägtes Plateau in longitudinaler Richtung auf. Die zugehörenden Schichtdickensind dünn gegen die Pendellösungsperiode, so daß ihre Intensitäten entsprechendschwach ausfallen. Die gegenüber dem Substrat verkürzten Streuvektoren dieser Nebenreflexeentsprechen, wie erwartet, im realen Raum durch die Germaniumbeimischung vergrößertenGitterkonstanten. In der transversalen Richtung findet mit zunehmender, longitudinalerAbweichung vom Substratreflex eine zunehmende Verbreiterung der Reflexeaufgrund anwachsender Mosaizität statt. Die Bilder zeigen in der Vertikalen, also um denBraggwinkel gegen die longitudinale Richtung geneigt, einen durchgehenden Streifen erhöhterIntensität, der sich als Artefakt der Auflösungsfunktion, nämlich als lorentzförmigenAusläufer des intensiven Substratreflexes, herausstellt.Im folgenden sollen anhand von Projektionen der Intensität auf die longitudinale Richtungund ausgewählten Schnitten parallel zu den Koordinatenachsen die wesentlichen Resultatevorgestellt werden.