2. Wirkungsquerschnitte und Streulängen - Liss, Klaus-Dieter

DAS MATERIALSYSTEM 59Damit wurde es erstmals möglich, auf diese Art und Weise millimeterdicke Kristalle innerhalbvon vernünftigen Zeiträumen, nämlich einigen Tagen herzustellen.Die Aufgabe in diesem Teil der vorliegenden Arbeit bestand darin, einen neuen Reaktionsofenfür großflächige Substrate mit Durchmessern von 10 cm zu bauen und die Kristalle fürdie anschließenden Experimente zu ziehen. Die Hauptschwierigkeiten bestanden vor allem inder Entwicklung eines geeigneten Heizelements sowie in der Führung der Gase, um einhomogenes, kristallines Wachstum über den benötigten Zeitraum zu gewährleisten.5.2. Die KristallzuchtanlageDie Anlage zur Gasphasenabscheidung besteht im wesentlichen aus dem Gassystem undeinem Zuchtofen, der sich wiederum in ein Gasströmungssystem und ein Heizelement iminneren eines Vakuumtopfes unterteilen läßt. Eine Übersicht ist in Abbildung (34) dargestellt.Im folgenden sollen diese Komponenten beschrieben werden.Abbildung (34):Die Versuchsanlage zur Kristallzucht. Im linken Teil der kesselförmige Reaktionsofenmit den Schläuchen für die Wasserkühlung. Rechts im Bild das Gaszuführsystemmit den preßluftgesteuerten Ventilen und den Massenflußreglern. ImBildzentum sehen wir die trichterförmige Mischkammer, ganz links unten denVakuumschlauch zu den Pumpen.