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Etude de la fiabilité porteurs chauds et des performances des ...

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tel-00117263, version 2 - 29 Jan 2007<br />

Thierry DI GILIO<br />

FIG. IV.1 – Re<strong>la</strong>tion entre le paramètre A <strong>de</strong> (IV.2) <strong>et</strong> <strong>la</strong> tension <strong>de</strong> Drain pendant les stress IB<br />

effectués sur <strong>de</strong>s NMOS <strong>de</strong>s technologies T1, T2 <strong>et</strong> T3 ; A est extrait <strong>de</strong>s cinétiques <strong>de</strong> dégrada-<br />

tion du courant <strong>de</strong> Drain mesuré en régime linéaire pendant le stress.<br />

Par ailleurs, il a été démontré analytiquement que les pics <strong>de</strong> courant du courant substrat<br />

peuvent être décrits par [4] :<br />

I max<br />

�<br />

BS ∝ exp − β<br />

�<br />

∝ A<br />

VDS<br />

β<br />

α (IV.3)<br />

A partir <strong>de</strong> (IV.1), (IV.2) <strong>et</strong> (IV.3) on peut déduire une première re<strong>la</strong>tion simplifiée 1 <strong>de</strong> <strong>la</strong> durée<br />

<strong>de</strong> vie τ :<br />

� �<br />

b<br />

τ ∝ exp<br />

VDS<br />

(IV.4)<br />

On choisit pour ce<strong>la</strong> un critère, ce qui revient à fixer <strong>la</strong> valeur limite pour ∆P . La valeur stan-<br />

dard est 10%. Dans c<strong>et</strong>te <strong>de</strong>rnière re<strong>la</strong>tion, b est simplement le rapport n/α.<br />

De <strong>la</strong> même façon, Takeda [3] a établi une re<strong>la</strong>tion <strong>de</strong> <strong>la</strong> durée <strong>de</strong> vie en fonction du courant<br />

substrat :<br />

1. C<strong>et</strong>te expression découle en fait <strong>de</strong> <strong>la</strong> re<strong>la</strong>tion du courant substrat au champ <strong>la</strong>téral : b/VDS a remp<strong>la</strong>cé<br />

b/(VDS − VDSat) (I.113) dans I.4.5<br />

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