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Etude de la fiabilité porteurs chauds et des performances des ...

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tel-00117263, version 2 - 29 Jan 2007<br />

Chapitre II<br />

Dans le cas d’un signal trapézoïdal, employé pour les mesure à VGhaut, VGbas ouVGbase fixe, les<br />

temps <strong>de</strong> capture sont donnés par :<br />

tem,e = |Vfb − Vt|<br />

tm<br />

∆VG<br />

tem,h = |Vfb − Vt|<br />

td<br />

∆VG<br />

(II.34)<br />

(II.35)<br />

Ces expressions perm<strong>et</strong>tent d’obtenir le courant pompé lorsque le signal <strong>de</strong> Grille a une forme<br />

trapézoïdale avec <strong>de</strong>s temps <strong>de</strong> montée/<strong>de</strong>scente tm/td :<br />

�<br />

ICP = 2qkT DitfCP Seff ln vT nit √ |Vfb − Vt|<br />

σpσn<br />

∆VG<br />

√ tdtm<br />

�<br />

(II.36)<br />

Enfin pour un signal sinusoïdal <strong>la</strong> forme <strong>de</strong>s temps <strong>de</strong> montée/<strong>de</strong>scente est plus complexe [18] :<br />

tem,e = tem,h = 1<br />

2πfCP<br />

�<br />

� �<br />

2 |Vfb − Voff|<br />

� ��<br />

2 |Voff − Vt|<br />

sin −1<br />

∆VG<br />

+ sin −1<br />

� ��<br />

t<br />

∆VG<br />

�<br />

∗<br />

(II.37)<br />

Où Voff est <strong>la</strong> tension <strong>de</strong> déca<strong>la</strong>ge du signal (représentant <strong>la</strong> valeur moyenne du signal). Ainsi<br />

on arrive au courant pompé :<br />

�<br />

vT nit<br />

ICP = 2qkT DitfCP Seff ln<br />

∗√ �<br />

σpσn<br />

2πfCP<br />

(II.38)<br />

L’emploi <strong>de</strong> signaux sinusoïdaux présente <strong>de</strong>ux avantages. Le premier <strong>et</strong> <strong>de</strong> maximiser les<br />

échanges <strong>de</strong> charges entre les états d’interface <strong>et</strong> le canal, en eff<strong>et</strong> le signal "passe" plus <strong>de</strong><br />

temps entre Vfb <strong>et</strong> Vt. Le second intérêt <strong>et</strong> <strong>de</strong> minimiser le courant tunnel qui peut traverser<br />

l’oxy<strong>de</strong> si celui est ultra-mince.<br />

Avant d’abor<strong>de</strong>r l’aspect expérimental du pompage <strong>de</strong> charges à <strong>de</strong>ux niveaux, il nous faut<br />

revenir à l’équation (II.18). Le second terme <strong>de</strong> l’équation est appelé composante géométrique.<br />

Ce courant est dû à <strong>la</strong> recombinaison <strong>de</strong>s <strong>porteurs</strong> minoritaires qui n’ont pas le temps d’atteindre<br />

les Sources <strong>et</strong> Drain, avec les <strong>porteurs</strong> majoritaires provenant du substrat lors du basculement<br />

<strong>de</strong> l’inversion forte vers le régime d’accumu<strong>la</strong>tion. Pour réduire c<strong>et</strong>te erreur systématique, plu-<br />

sieurs solutions ont été proposées :<br />

1. Elliot [24] a suggéré d’appliquer à <strong>la</strong> Source <strong>et</strong> au Drain une po<strong>la</strong>risation inverse VR. Ceci<br />

a pour eff<strong>et</strong> <strong>de</strong> réduire <strong>la</strong> longueur du canal par extension <strong>de</strong>s zones désertées autour <strong>de</strong>s<br />

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