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Etude de la fiabilité porteurs chauds et des performances des ...

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tel-00117263, version 2 - 29 Jan 2007<br />

b ) Régime <strong>de</strong> saturation<br />

Chapitre I<br />

Lorsque <strong>la</strong> tension <strong>de</strong> Drain augmente, <strong>la</strong> zone <strong>de</strong> charge <strong>de</strong> charge d’espace (ZCE) s’étend<br />

<strong>et</strong> réduit <strong>la</strong> charge d’inversion à <strong>la</strong> pointe du Drain. Le transistor rentre en mo<strong>de</strong> <strong>de</strong> saturation<br />

lorsque VDS est suffisamment grand pour que Qinv(x = Leff) soit quasiment nulle . Ceci se<br />

produit pour VD égal à VDsat. On a alors :<br />

Qn = −Cox<br />

�<br />

VGS − VDsat − VT − 2φF − γ � �<br />

VDsat − VBS + 2φF ≈ 0 (I.66)<br />

C<strong>et</strong>te équation quadratique en VDSsat se résout en :<br />

VDsat = VGS + Vfb − 2φF + γ2<br />

2<br />

�<br />

1 −<br />

�<br />

1 + 4<br />

γ2 (VGS<br />

�<br />

− Vfb − VBS)<br />

(I.67)<br />

L’expression (I.67) <strong>de</strong> VDSsat, bien qu’exacte, ne perm<strong>et</strong> pas d’établir une expression pratique à<br />

utiliser pour <strong>la</strong> détermination du courant <strong>de</strong> Drain . Il existe une autre approche pour déterminer<br />

<strong>la</strong> tension <strong>de</strong> Drain <strong>de</strong> saturation. Il suffit <strong>de</strong> considérer que pour VDS > VDSsat le courant <strong>de</strong><br />

Drain ne varie pratiquement plus (cas idéal) ce qui revient à résoudre :<br />

Avec (I.63), on arrive ainsi à :<br />

�<br />

�<br />

�<br />

Gd = ∂IDS<br />

� ∂VDS VDSsat VDsat = VGS − VT<br />

α<br />

Ceci perm<strong>et</strong> <strong>de</strong> r<strong>et</strong>rouver l’expression <strong>de</strong> IDSsat couramment utilisée :<br />

IDSsat = WG<br />

LG<br />

(VGS − VT )<br />

µnCox<br />

2<br />

2α<br />

= 0 (I.68)<br />

(I.69)<br />

(I.70)<br />

Les figures I.10, I.11, I.12 <strong>et</strong> I.13 montrent les caractéristiques IDS(VGS) <strong>et</strong> IDS(VDS) calcu-<br />

lées (avec (I.63) <strong>et</strong> (I.70)) <strong>et</strong> mesurées, pour un transistor à canal long (WG/LG = 10/10µm)<br />

<strong>et</strong> un transistor à canal court (WG/LG = 10/0.13µm). On peut y observer une divergence entre<br />

le modèle <strong>et</strong> <strong>la</strong> mesure lorsque les tensions <strong>de</strong> Grille <strong>et</strong> <strong>de</strong> Drain augmentent. Sur les p<strong>et</strong>ites<br />

géométries, l’écart s’accentue, ce qui m<strong>et</strong> en évi<strong>de</strong>nce <strong>la</strong> nécessité d’affiner les équations en<br />

incluant les eff<strong>et</strong>s liés à <strong>la</strong> diminution <strong>de</strong>s dimensions <strong>de</strong>s transistors MOSFET. Dans <strong>la</strong> section<br />

suivante, nous allons présenter ces eff<strong>et</strong>s, en partant <strong>de</strong> leurs origines physiques, pour arriver à<br />

une quantification mathématique perm<strong>et</strong>tant d’inclure leurs impacts sur le comportement élec-<br />

trique <strong>de</strong>s dispositifs. Nous allons en particulier décrire <strong>la</strong> réduction <strong>de</strong> <strong>la</strong> mobilité <strong>de</strong>s <strong>porteurs</strong><br />

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