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Etude de la fiabilité porteurs chauds et des performances des ...

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tel-00117263, version 2 - 29 Jan 2007<br />

I.2.1 Modélisation du courant <strong>de</strong> Drain<br />

a ) Régime linéaire<br />

Chapitre I<br />

Le courant total près <strong>de</strong> l’interface Si-SiO2 est <strong>la</strong> somme <strong>de</strong>s courants <strong>de</strong> diffusion <strong>et</strong> <strong>de</strong><br />

conduction <strong>de</strong>s <strong>porteurs</strong> libres. En inversion, on considère que <strong>la</strong> concentration <strong>de</strong> majoritaires<br />

est nulle dans le canal <strong>et</strong> on peut écrire [15] :<br />

�<br />

�J(x,y) = q µnn� ξ + Dn � �<br />

∇n = � Jn<br />

(I.40)<br />

où µn est <strong>la</strong> mobilité <strong>de</strong>s électrons en champ faible dans <strong>la</strong> couche d’inversion <strong>et</strong> Dn le coeffi-<br />

cient <strong>de</strong> diffusion <strong>de</strong>s électrons <strong>et</strong> � ∇n le champ électrique. Si on se p<strong>la</strong>ce dans l’approximation<br />

graduelle <strong>de</strong> Shockley [16], c’est à dire lorsque le transistor fonctionne en mo<strong>de</strong> non saturé ou<br />

encore lorsque le canal n’est pas pincé, on considère que les lignes <strong>de</strong> champ sont parallèles à<br />

l’interface, ce qui se traduit par :<br />

Dans ces conditions, (I.40) <strong>de</strong>vient :<br />

�<br />

�<br />

�<br />

∂<br />

�<br />

2ψ ∂y2 �<br />

�<br />

�<br />

� >><br />

�<br />

�<br />

�<br />

∂<br />

�<br />

2ψ ∂x2 �<br />

�<br />

�<br />

�<br />

Jn = qµnnξx + qDngradxn<br />

� �� � � �� �<br />

J1<br />

J2<br />

(I.41)<br />

(I.42)<br />

ξx étant le champ suivant l’axe x (figure I.9), J1 est <strong>la</strong> composante <strong>de</strong> dérive (due au champ) <strong>et</strong><br />

J2 représente le courant <strong>de</strong> diffusion.<br />

Considérant le coefficient d’Einstein Dn = µnkT/q où µn est <strong>la</strong> mobilité <strong>de</strong>s électrons supposée<br />

constante, <strong>et</strong> sachant que ξx dérive d’un potentiel sca<strong>la</strong>ire (ce qui se traduit par ξx = −gradx(ψ)),<br />

(I.42) peut se simplifier en [15] :<br />

où les re<strong>la</strong>tions en potentiel sont données par :<br />

Jn = −qµnn dφc<br />

dx<br />

φc(x = 0) = −VBS<br />

φc(x = LG) = VDS − VBS<br />

φc(0 < x < LG) = V (x) − VBS<br />

(I.43)<br />

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