Etude de la fiabilité porteurs chauds et des performances des ...

tel-00117263, version 2 - 29 Jan 2007
Probe
Station
HP51501B
HP4156c
D
SMUs
B
S
G
VSU
out
trigger
HP54645d
HP8112a
Chapitre II
PC commande
BUS HPIB (IEEE)
FIG. II.13 – Schéma de principe pour la mesure CP, le Drain et la Source sont au même poten-
tiel. Les dispositifs étudiés sont sur des wafers de test prévus à cet effet avec des pads en surface
pour contact par micro-pointes.
83