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Etude de la fiabilité porteurs chauds et des performances des ...

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tel-00117263, version 2 - 29 Jan 2007<br />

Thierry DI GILIO<br />

FIG. I.35 – Extraction <strong>de</strong> <strong>la</strong> résistance <strong>de</strong>s contacts d’accès pour <strong>de</strong>s longueurs <strong>de</strong> Grille com-<br />

prises entre 0.28µm <strong>et</strong> 0.1µm.<br />

FIG. I.36 – Extraction <strong>de</strong> <strong>la</strong> résistance <strong>de</strong>s contacts d’accès <strong>et</strong> <strong>de</strong> ∆L pour VGS − VT h = 0.6V<br />

<strong>et</strong> 0.2V .<br />

54

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