Dissertation
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5. Optische Systemintegration 111<br />
Tabelle 5.4.: Parameter.<br />
fein mittel grob<br />
x 32 in µm 3,30 4,17 6,97<br />
F in L/(mg×mm) 1,569 E-4 1,241 E-4 7,422 E-5<br />
in ASAP durch eine emittierende Scheibe (emitting disk) mit 10 µm Durchmesser<br />
modelliert, die 10 Millionen Strahlen unter einem halben Öffnungswinkel von<br />
12 ◦ emittiert. Um die Fresnelreflexionen der Grenzflächen zu simulieren, kann ein<br />
Strahl dreimal in seine spekularen Komponenten geteilt werden (SPLIT=3).<br />
(a)<br />
(b)<br />
Spiegel<br />
Primärlicht<br />
Kanal<br />
Linsenfläche<br />
Spiegel<br />
Primärdetektor<br />
Streulicht<br />
Si-Chip<br />
Sekundärdetektoren<br />
fotostrukturiertes<br />
Glas<br />
Bild 5.10.: Simulation der Streuung in ASAP.<br />
Bild 5.10 (a) zeigt Teile des ASAP-Modells. Der Übersichtlichkeit halber sind<br />
nicht alle Flächen dargestellt. In (b) ist exemplarisch das gestreute Licht dargestellt,<br />
das die Streulichtdetektoren erreicht. In einem realen System treten Fresnelreflexionen<br />
an den Grenzflächen auf. Daneben können Fehler durch folgende<br />
Fehlerquellen auftreten:<br />
• Oberflächenrauheit,<br />
• relative Position der Lichtquelle zur Optik,<br />
• Rotationsfehler und<br />
• Krümmungsfehler der Linse.<br />
Durch eine aktive Justage kann dafür gesorgt werden, dass der Primärstrahl die<br />
Spiegelflächen und schließlich auch den Primärdetektor trifft. Der Krümmungsfehler<br />
der Linse ist als sehr gering einzschätzen [102,105]. Somit bleiben die Oberflächenrauheit,<br />
die primär durch die Fertigungsspuren verursacht wird, und die
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