Dissertation

5. Optische Systemintegration 139
system demonstriert, das das durch Partikel gestreute Licht misst und gleichzeitig
den Transmissionsgrad bestimmt. Unter Ausnutzung des Mittelwertes und der
Standardabweichung des Streusignals kann die Partikelmassekonzentration und
der Sauterdurchmesser der Teststäube bestimmt werden. Für alle drei Teststäube
konnte eine Nachweisgrenze besser als 1 mg/l erreicht werden.
Ein integriertes Messsystem zur Partikelanalyse unter Verwendung des Talboteffekts
wurde entworfen. Da bei einem solchen System die Wellenfront aberrationsfrei
sein muss, wurde eine umfangreiche Toleranzanalyse durchgeführt, um die
kritischen Parameter festzustellen. Eine minimale Gitterperiode von ca. 15 µm
wurde für zukünftige Systemaufbauten ermittelt.