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Dissertation

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4. Talbotinterferometrie für die Partikelanalyse 69<br />

ebene<br />

Welle<br />

Gitter<br />

a<br />

y 0 y<br />

r<br />

R<br />

x 0<br />

r<br />

q<br />

f<br />

Scheibchen<br />

x<br />

z<br />

Beobachtungsebene<br />

Gitterbeugungsebene<br />

z=z g<br />

Partikelbeugungsebene<br />

z=0<br />

Bild 4.19.: Beugung an einem Gitter und einem Partikel.<br />

im Fresnelintegral (Gleichung 4.12), um die Partikelbeugung bei Beleuchtung mit<br />

den bei z g startenden Beugungsordnungen des Gitters zu berechnen:<br />

U(x, z) = ejkz<br />

jλz<br />

∫ ∞<br />

Vereinfachung ergibt<br />

U(x, z) = ∑ n<br />

= ∑ n<br />

·<br />

−∞ −∞<br />

e jkz<br />

jλz<br />

und es folgt schließlich<br />

U(x, z) = ∑ n<br />

∫ ∞ ∑<br />

n<br />

A n e [−jπ(nν)2 λ(−z g)] e (2πjnνx 0) e [ jπ<br />

λz (x−xg)2 ] dx0 . (4.74)<br />

A n e [−jπ(nν)2 λ(−z g)] ejkz<br />

jλz<br />

∫∞<br />

∫∞<br />

−∞ −∞<br />

A n e [−jπ(nν)2 λ(−z g)] e [−jπ(nν)2 λz] e (2πjnνx)<br />

∫∞<br />

∫ ∞<br />

−∞ −∞<br />

e (2πjnνx 0) e [ jπ<br />

λz (x−x 0) 2 ] dx0<br />

e [j π λz (x 0−x+nλνz) 2 ] dx0 (4.75)<br />

{A ⎛ n e −jπ(nν)2 λ(z−z g) e (2πjnνx)} ∫ ∞ ∫ ∞<br />

⎞<br />

⎝ ejkz<br />

e {j π λz [(x−nλνz)−x 0] 2 } dx0 ⎠ .<br />

jλz<br />

−∞ −∞<br />

(4.76)<br />

Gleichung 4.76 ist die resultierende Gleichung, mit deren Hilfe das kombinierte<br />

Lichtfeld als Summe über die gestörten Beugungsordnungen berechnet wird.<br />

Jede Ordnung ist das Produkt aus zwei Teilen. Der Term in geschweiften Klammern<br />

ist das Gitterbeugungsmuster der n-ten Ordnung aus Gleichung 4.16, das<br />

um z g verschoben wurde und wird mit U gn (x, z − z g ) bezeichnet. Die komplexen<br />

Fourierkoeffizienten A n bestimmen dabei die Art des Gitters (vgl. Kapitel 4.1.3).<br />

Der Term in runden Klammern ist das Fresnelintegral (Gleichung 4.12), das in<br />

Kapitel 4.2 gelöst wurde, um das Beugungsbild des Partikels zu erhalten. Allerdings<br />

ist es in x um den Faktor ∆ = nλνz verschoben. Um diese Verschiebung<br />

zu interpretieren wird die n-te Beugungsordnung betrachtet, die auf das Partikel<br />

trifft. Angenommen wird eine verkippte ebene Welle, die einen Winkel α zur

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