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Dissertation

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normierte Intensität<br />

128 5.4. Integration eines Talbotinterferometers zur Partikelanalyse<br />

Tabelle 5.9.: Tiefentoleranzen für verschiedene Gitterperioden bei b = 0, 01.<br />

p in µm z T /2 in µm Tiefentoleranz in µm<br />

10 117,6 ±2,4<br />

20 470,6 ±9,4<br />

30 1058,8 ±21,2<br />

40 1882,4 ±37,6<br />

50 2941,2 ±58,8<br />

60 4235,3 ±84,7<br />

70 5764,7 ±115,3<br />

80 7529,4 ±150,6<br />

90 9529,4 ±190,6<br />

100 11764,7 ±235,3<br />

ve Richtung stärker, so dass bei Dejustage in positive Richtung noch ausreichend<br />

gute Signale entstehen, bei Dejustage in negative Richtung allerdings nicht.<br />

(a)<br />

(b)<br />

normierte Intensität<br />

0,4<br />

0,35<br />

0,3<br />

0,25<br />

0,2<br />

0,15<br />

0,1<br />

0,05<br />

0<br />

0 2 4 6 8<br />

Abstand Detektor-Partikel z/zT<br />

1,15zT<br />

1,1zT<br />

1,05zT<br />

1zT<br />

0,95zT<br />

0,9zT<br />

0,85zT<br />

0,<br />

8<br />

0,7<br />

0,6<br />

0,5<br />

0,4<br />

0,<br />

3<br />

Nullsignal blaue<br />

Kurven<br />

Nullsignal orange<br />

Kurven<br />

Nullsignal grüne<br />

Kurven<br />

Nullsignal graue<br />

Kurve<br />

0,2<br />

0,1<br />

0<br />

0 2 4 6 8<br />

Abstan d Detektor-Partik el z/zT<br />

1,3 z T / 2<br />

1,2 zT/<br />

2<br />

1,1 zT/<br />

2<br />

1 z T/2<br />

0,7 zT/<br />

2<br />

Nullsignal blaue Kurv<br />

en<br />

0, 8 z T / 2<br />

0,9 z T<br />

/2<br />

Nullsignal orange Kurven<br />

Nullsigna l grün e Kurve<br />

n<br />

Nullsignal grau e Kurven<br />

Bild 5.27.: Variation der axialen Detektorposition. (a) Detektorgröße: y = 5p,<br />

x = p/4 und (b) y = 1p, x = p/4<br />

Bild 5.28 zeigt den Vergleich zwischen Messung und Simulation. Bei einer Dejustage<br />

von ±0, 1z T /2 ist zwar der Kontrast nicht mehr optimal, trotzdem ist das<br />

erzeugte Signal für eine Messung noch brauchbar. Dies bedeutet, dass der halbe<br />

Talbotabstand in Luft von 2,941 mm um ±0,2941 mm abweichen kann.<br />

Ein Aufbau gemäß Bild 5.22 (a) wird wegen der besseren Qualität der ebenen<br />

Welle bevorzugt. Der Abstand zwischen Gitter und Detektionsebene kann um<br />

±0, 1z T /2 vom Ort einer perfekten Selbstabbildung abweichen. Zwischen Gitter

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