Dissertation

5. Optische Systemintegration 127
Breite geteilt. Ein Wert von 0,01 entspricht also 1% eines Gebietes, das mit der
Intensität von 1 beleuchtet wird. Die entsprechende Kurve ist in Bild 5.26 (d) zu
sehen. Legt man beispielsweise diese 1% als maximalen Wert fest, so kann die
entsprechende Tiefentoleranz in Bild 5.26 (d) mit b = ±0, 02 abgelesen werden.
Für die Anwendung wird dann entsprechend z T /2 = p 2 /λ der Wert für z T /2 ermittelt
und mit 0, 02 · z T /2 die Tiefentoleranz ermittelt. In Tabelle 5.9 sind die
(a)
x
p
0
−p
0 zT/2 zT
z
(b)
p/8
0
−p/8
0 zT/2 zT
z
(c)
p/8
0
−p/8
−0.1 0 0.1
b
(d)
0.08
2
1.5
1
0.5
2
1
0.2
0.1
normierte
Intensität
0.06
0.04
0.02
0
−0.1 −0.08 −0.06 −0.04 −0.02 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1
b
Bild 5.26.: (a) Talbotteppich, (b) und (c) Ausschnitte des Talbotteppichs und (d)
Verlauf der normierten Intensität.
halben Talbotlängen und Tiefentoleranzen für verschiedene Gitterperioden bei
einer Wellenlänge von 850 nm aufgelistet. Diese Tiefentoleranz bezieht sich allerdings
nur auf den Kontrast zwischen hellem und dunklem Streifen. Wie sich aber
das durch ein Partikel verursachte Signal im axial dejustierten Detektorstreifen
verhält, wird nun betrachtet.
Zu diesem Zweck wurden die I(z)-Kurven (vgl. Bild 4.34) für verschiedene Detektorpositionen
zwischen 0,7...1,3z T /2 ermittelt. Bild 5.27 (a) zeigt die Kurven
für y = 5p und (b) für y = 1p bei Verwendung eines 50 µm Gitters und eines
100 µm Scheibchens. Als Gerade sind jeweils die theoretischen Dunkelsignale
eingezeichnet. In der Talbotebene ist das Dunkelsignal am schwächsten und mit
zunehmendem Abstand nimmt es symmetrisch in beide Richtungen zu. Allerdings
nimmt auch das Nutzsignal in vielen der Fälle zu. Insgesamt wurde festgestellt,
dass eine Dejustage um 0, 1z T /2 in beide Richtungen ausreichend gute Signale
liefert. Fällt die Dejustage höher aus, unterscheiden sich die positive und negati-