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Dissertation

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4. Talbotinterferometrie für die Partikelanalyse 85<br />

25 µm Scheibe und einer 23 µm Kugel. Dies entspricht g ∗ ≈0,6. Die reinen Messund<br />

Simulationswerte wurden nach Gleichung 4.81 normiert und die Messkurven<br />

wurden so verschoben, dass die Position der ersten Maxima gleich ist. Diese<br />

Verschiebung wird notwendig, weil in der Simulation das Partikel mit dem Detektorstreifen<br />

exakt zusammenfallen kann. Dies ist in der Praxis beispielsweise<br />

durch das Abdeckglas des Kamerachips oder die Ausdehnung der Kugel nicht<br />

möglich.<br />

(a)<br />

(b)<br />

0,5<br />

0,5<br />

0,4<br />

0,4<br />

normierte Intensität<br />

0,3<br />

0,2<br />

0,1<br />

Simulation Scheibe 100 µm<br />

Messung 1<br />

Messung 2<br />

Messung 3<br />

Messung 4<br />

normierte Intensität<br />

0,3<br />

0,2<br />

0,1<br />

Simulation Kugel 103 µm<br />

Messung 1<br />

Messung 2<br />

Messung 3<br />

0<br />

0 2 4 6 8 10<br />

0<br />

0 2 4 6 8 10<br />

-0,1<br />

Abstand Partikel-Detektor in mm<br />

-0,1<br />

Abstand Partikel-Detektor in mm<br />

(c)<br />

(d)<br />

0,1<br />

0,1<br />

Simulation Scheibe 25 µm<br />

Simulation Kugel 23 µm<br />

0,08<br />

Messung<br />

0,08<br />

Messung 1<br />

normierte Intensität<br />

0,06<br />

0,04<br />

0,02<br />

normierte Intensität<br />

0,06<br />

0,04<br />

0,02<br />

Messung 2<br />

0<br />

0 2 4 6 8 10<br />

Abstand Partikel-Detektor in mm<br />

-0,02<br />

0<br />

0 2 4 6 8 10<br />

Abstand Partikel-Detektor in mm<br />

-0,02<br />

Bild 4.36.: Vergleich von Simulation und Messung für ein 20 µm Gitter..<br />

Die simulierten und gemessenen Kurven zeigen eine gute Übereinstimmung.<br />

Die Amplituden der gemessenen Signale liegen im gleichen Bereich wie die der<br />

theoretischen Kurven und auch der oszillierende Kurvenverlauf ist zu sehen. Dennoch<br />

schwanken die Messkurven von Messung zu Messung, wie beispielsweise<br />

Bild 4.36 (a) zeigt. Dies ist darin begründet, dass es durch den Glasträger zu<br />

Mehrfachreflexionen und Interferenzen kommt, die zu Schwankungen von I d und<br />

I h führen. Ebenso führen Staubkörner auf den Bauteilen zu ungewollten Störungen.<br />

Hinzu kommt, dass auch ein Abweichen der lateralen Partikelposition von<br />

der exakten Mitte zu Fehlern führen kann.<br />

4.5.1.2. Abhängigkeit des Signals von der lateralen Position<br />

In einem realen Messaufbau bewegen sich die Partikel in einem Kanal lateral in<br />

einem festgelegten z-Bereich am Gitter vorbei (siehe Bild 4.11). Daher wird im<br />

Folgenden ermittelt, welches Signal bei der lateralen Bewegung eines Partikels in

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