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Dissertation

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eine Bewegung des Partikels quasi in Echtzeit möglich. Die Art des Gitters kann<br />

dann nachträglich über Berechnung der Fourierkoeffizienten festgelegt werden.<br />

Durch zahlreiche Versuche mit Einzelpartikeln in Form von Glaskügelchen und<br />

Chromscheiben konnte das Modell bestätigt werden. Um die Leistungsfähigkeit<br />

des Messprinzips zu beurteilen, wurde durch Messungen an definierten Partikelproben<br />

das zu erwartende Signal-Rausch-Verhältnis in Abhängigkeit des Parameters<br />

g ∗ abgeschätzt. Es zeigte sich, dass dieses mit zunehmender Partikelgröße<br />

zunächst ansteigt, um ein Maximum zu erreichen und dann wieder abzufallen.<br />

Bei der Transmissions- und Streulichtmessung ist der Verlauf anders. Hier liegt<br />

das Maximum des SNR bei kleineren Partikeldurchmessern, um von dort ausgehend<br />

zunehmender Partikelgröße exponentiell abzufallen. Für Partikel kleiner<br />

als ca. 10 µm sind die Streulichtanalyse und Transmissionsmessung der Talbotinterferometrie<br />

überlegen. Bei ansteigender Partikelgröße, Detektoren mit großem<br />

Akzeptanzwinkel und kompakter Systembauweise mit kurzen Messlängen bietet<br />

allerdings die Talbotinterferometrie Vorteile durch die Erzielung höherer Signal-<br />

Rausch-Verhältnisse. Durch Messungen mit eingeklebten Partikelproben des feinen<br />

und groben Teststaubs bei einer Messlänge von wenigen hundert Mikrometern<br />

konnte dies bestätigt werden. Der ideale Abstand zwischen Partikelposition und<br />

Detektor ist abhängig von g ∗ , liegt aber größtenteils im Bereich von einer halben<br />

bis einer ganzen Talbotlänge.<br />

Ausgehend von den theoretischen Betrachtungen erfolgte die Systemintegration.<br />

Angestrebt wurde die Entwicklung eines planar integrierten freiraumoptischen<br />

Systems, das weitestgehend auf Peripheriegeräte verzichtet und somit kompakt<br />

und transportabel ist. Beim Ansatz der planar integrierten Freiraumoptik propagiert<br />

das Licht durch ein transparentes Substrat und interagiert mit den optischen<br />

Komponente, die an der Substratgrenzfläche integriert sind. Ein Testsystem auf<br />

der Materialbasis Saphir-Galliumnitrid, das mit diffraktiven optischen Elementen<br />

zur Strahlfokussierung arbeitet, wurde demonstriert.<br />

Ein zweites System, das auf der dynamischen Messung des Streulichtes und<br />

der Transmission beruht, stellt ein integriertes optofluidisches System zur quantitativen<br />

Analyse fließender Suspensionen dar. Das System benötigt als Peripheriegeräte<br />

lediglich eine 9V-Batterie zur Spannungsversorgung und ein Multimeter<br />

zur Messung des Photostroms. Alle aktiven optischen Komponenten, also<br />

die Lichtquelle und die Detektoren, befinden sich auf einem Siliziumchip, einer<br />

sogenannten planaren Strahler-Empfänger-Baugruppen. Die planare Systemintegration<br />

erfolgte in PMMA, das mittels Ultrapräzisionsfräsen bearbeitet wurde.<br />

Das von einem VCSEL bei 850 nm emittierte Licht ist divergent und wird durch<br />

eine optische Freiformfläche abgelenkt und auf einem Zick-Zack-Pfad durch das<br />

System auf den Primärlichtdetektor geführt. Streulichtdetektoren messen das gestreute<br />

Licht. Durch die Auswertung des Mittelwerts und der Standardabweichung<br />

des Streulichtes war es möglich, die Partikelmassekonzentration zwischen

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