Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

5.3. Die 220eV–Stufe 101
sich ein leichter Peak an. Eine Abhängigkeit der Stufe von der Einfallsenergie
des Ions läßt sich anhand unserer Meßserien nur bei Θ = 92 ◦ aufzeigen. In
unserer ≪überdrehten≫ Beobachtungsgeometrie aus Abb.5.3 prägt sich erst
bei sehr niedrigen Ionenenergien (UQ � −12V) eine leichte Stufe aus. In
den Fällen, in denen sie klar hervortritt, ist keine signifikante Variation ihrer
oberen Begrenzung bei etwa 235±eV feststellbar.
5.3.2 Einbeziehung von Kristalleffekten
In diesem Abschnitt wollen wir die Form der Stufe bei verschiedenen experimentellen
Randbedingungen erklären. Zunächst scheint sich eine Inkonsistenz
anzudeuten. Die Energieabhängigkeit unter Θ = 92 ◦ läßt vermeintlich auf
einen vor der Oberfläche ablaufenden Erzeugungsprozeß schließen. Andererseits
sollte dieser Effekt dann unter flachen Winkeln analog zur Argumentation
der LMM–Winkelabhängigkeit in Abschnitt 5.1.2 erkennbar unterdrückt
sein.
Um diesen Widerspruch aufzulösen, müssen wir die Herkunft der die Stufe
erzeugenden Elektronen klären. Als potentielle Kandidaten prüfen wir als
erstes LMN– und LMM–Übergänge, beispielsweise (3p ↦→ 2p, 3d ↑) mit E =
232eV bei einer (K2, L7, M9)–Besetzung der atomaren Schalen. Die hier nicht
tabellierten Berechnungen weisen eine Vielzahl solcher Augerübergänge im
Bereich oberhalb des 211eV–Peaks auf. Allerdings läßt sich weder mit Hilfe
der zugehörigen Raten noch aufgrund der simulierten Energiewerte ein
≪Einbruch≫ oberhalb von 235eV rekonstruieren. Die Berechnungen deuten
stattdessen auf einen bis in die Region um 260eV auslaufenden, unstrukturierten
Schwanz aus LMX–Übergängen hin. Dieser tritt tatsächlich in allen
Spektren auf. Was verursacht aber die Entstehung der markanten Stufe?
An dieser Stelle erweitern wir das bisher entwickelte Modell und schließen
LVV–Übergänge (s. Kap.2.8.2) zwischen den Valenzbandelektronen des Siliziumwafers
und dem L–Schalenloch des Argonions in unsere Überlegungen
mit ein. Wir handeln dabei nicht im Widerspruch zu den Messungen unter
Θ = 92 ◦ , welche auf den ersten Blick einen vor der Oberfläche stattfindenden
Effekt als Ursache suggerieren. Denn auch in dieser Meßgeometrie mißt man
noch Kristalleffekte, sie erscheinen aber gegenüber den vor der Oberfläche ablaufenden
Augerprozessen im Spektrum unterdrückt. So z.B. verschwindet in
allen (Θ = 92 ◦ )–Serien der LMM–Peak keineswegs vollständig, sondern ver-