Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

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88 5. Die Argon–Spektren 5.1.2 Winkelabhängigkeit der Messung In der Θ = 92 ◦ –Geometrie ist Elektronen, die mit einer Energie von etwa 200eV im Kristall gestartet werden, der direkte Weg zum Spektrometer fast vollständig versperrt. Denn die auf ca. 16 ◦ begrenzte Akzeptanz der Spektrometerlinse (s. Kap.3.4) verlangt, daß sie den Festkörper mit einem fast parallel zur Oberfläche gerichteten Geschwindigkeitsvektor verlassen müßten, um auf geradem Weg die Linse zu erreichen. Dabei hätten sie aber eine sehr lange Bahn durch den Kristall zurückzulegen, was wiederum durch ihre kleinen inelastischen freien Weglängen (s. Abb.3.18) in Silizium von weniger als 10˚A nicht möglich ist. Vor der Oberfläche emittierte Elektronen profitieren hingegen von der großen Akzeptanz der vorgeschalteten Linse, deren Raumwinkelkegel den Emissionsort zu einem Teil noch auf direktem (≪optischen≫) Weg erfassen kann. Natürlich ergeben sich in dieser Geometrie sehr geringe Absolutzählraten, da der von der Targetmitte aus gemessene Raumwinkel der Linsenöffnung, welcher vom Kristall unbedeckt gelassenen wird, gegenüber flachen Winkeln Θ stark reduziert ist. Das Verhältnis der im Spektrometer nachweisbaren Peakintensitäten von Elektronen, die vor, respektive im Kristall freigesetzt werden, verlagert sich aber unter Θ = 92 ◦ zugunsten der Emissionen vor der Oberfläche. An dieser Stelle kann man einwenden, daß unter diesen extremen Bedingungen nur Elektronen mit einem großen Abstand r � R zur Mittelachse der Linse auf den Eintrittsspalt fokussiert werden. Die beobachteten Effekte könnten somit auch durch eine starke Ortsabhängigkeit der Linsentransmissionsfunktion T (r) hervorgerufen werden. Zwar können wir aus den in Kap.3.4 angegebenen Gründen keine expliziten Aussagen über den Verlauf von T (r) machen. Allerdings hätten solche Einflüsse nicht nur fatale Folgen für die Interpretation der (Θ = 92 ◦ )–Spektren. Selbst unter flachen Einfallswinkel aufgenommene AES–Spektren würden massiv beeinträchtigt, da die Augerelektronen räumlich fast homogen über ihre Eintrittsfläche verteilt in die zylindersymmetrische Linse eindringen. Die Fläche eines Kreissegments der Dicke dr wächst aber proportional zu r an, so daß die meisten Elektronen über die äußeren ≪Ringe≫ in das Kugelspektro-
5.1. Der LMM–Peak 89 meter gelangen. Damit wäre nur eine stark verzerrte Wiedergabe der Spektren möglich. Das wäre im Widerspruch zu der guten Übereinstimmung unserer AES–Messungen mit entsprecheden Referenzspektren aus der Literatur. Geht man zu Spektren über, bei denen der Einfallswinkel Θ = 90 ◦ unterschreitet, so erfaßt die Spektrometerlinse mit einem Großteil ihres Akzeptanzkegels die Targetoberfläche. Dann können sowohl vor als auch im Kristall emittierte Beiträge detektiert werden. Abbildung 5.4: Energieabhängigkeit der Ar 9+ –Spektren unter Θ = 5 ◦ Die Spektren sind auf ihr jeweiliges Maximum normiert. Bei den beiden negativen Vorspannungen gewinnt der Knick um 206eV deutlich an Gewicht. Bei 231eV erkennt man einen kleinen Peak, der auf die im Text diskutierende 220eV–Stufe aufgesetzt ist. Auch Messungen bei sehr flachen Einfallswinkeln und niedrigen Einschußenergien sind nicht ganz unproblematisch. Durch die fokussierende Wirkung (s. Kap.3.3) der letzten Abbremslinse wird ein Teil der Ionen vom Target weggelenkt, ein anderer trifft mit wesentlich steilerem Einfallswinkel als durch die Strahlachse vorgegeben auf den Kristall auf. Zudem reagieren diese Spektren sehr sensibel auf Dreckschichten und Unebenheiten der Oberfläche wie Stufen und Terrassen.
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Wechselwirkungen sehr langsamer hoc
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Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung 9 2
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INHALTSVERZEICHNIS 5 4.1.1 Programm
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INHALTSVERZEICHNIS 7 B.3 Reduktion
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Kapitel 1 Einleitung Die ersten Arb
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Kapitel 2 Fundamentale Wechselwirku
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2.2. Potentialverhältnisse 13 Ladu
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2.2. Potentialverhältnisse 15 2.2.
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2.2. Potentialverhältnisse 17 best
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2.3. Zeitskalen 21 Abbildung 2.5: M
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2.4. Auger-Übergänge 23 größer
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2.4. Auger-Übergänge 25 Abbildung
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2.5. Elektronentransferprozesse 27
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2.6. Die Screening Dynamics 29 nen
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2.7. Strahlungsübergänge 31 10˚A
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2.8. Wechselwirkungen im Kristall 3
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Anhang A Atomare Einheiten • Län
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Anhang B Ionenspektrometersimulatio
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B.3. Reduktion der Dimension von Ai
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flushall (); /* clearing all input
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mean = ctre[i] / runs; sigma = sqrt
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printf ("Setting BG1 to continuous
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printf ("SoftwareInit\n\n"); if (er
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Literaturverzeichnis [1] R.P. Adam:
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LITERATURVERZEICHNIS 167 [20] R. D
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LITERATURVERZEICHNIS 169 [43] Chris
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Erklärung Ich erkläre, daß ich d
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