Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

88 5. Die Argon–Spektren
5.1.2 Winkelabhängigkeit der Messung
In der Θ = 92 ◦ –Geometrie ist Elektronen, die mit einer Energie
von etwa 200eV im Kristall gestartet werden, der direkte
Weg zum Spektrometer fast vollständig versperrt. Denn
die auf ca. 16 ◦ begrenzte Akzeptanz der Spektrometerlinse (s.
Kap.3.4) verlangt, daß sie den Festkörper mit einem fast parallel
zur Oberfläche gerichteten Geschwindigkeitsvektor verlassen
müßten, um auf geradem Weg die Linse zu erreichen.
Dabei hätten sie aber eine sehr lange Bahn durch den Kristall
zurückzulegen, was wiederum durch ihre kleinen inelastischen
freien Weglängen (s. Abb.3.18) in Silizium von weniger als
10˚A nicht möglich ist.
Vor der Oberfläche emittierte Elektronen profitieren hingegen von der großen
Akzeptanz der vorgeschalteten Linse, deren Raumwinkelkegel den Emissionsort
zu einem Teil noch auf direktem (≪optischen≫) Weg erfassen kann.
Natürlich ergeben sich in dieser Geometrie sehr geringe Absolutzählraten,
da der von der Targetmitte aus gemessene Raumwinkel der Linsenöffnung,
welcher vom Kristall unbedeckt gelassenen wird, gegenüber flachen Winkeln
Θ stark reduziert ist. Das Verhältnis der im Spektrometer nachweisbaren
Peakintensitäten von Elektronen, die vor, respektive im Kristall freigesetzt
werden, verlagert sich aber unter Θ = 92 ◦ zugunsten der Emissionen vor der
Oberfläche.
An dieser Stelle kann man einwenden, daß unter diesen extremen
Bedingungen nur Elektronen mit einem großen Abstand
r � R zur Mittelachse der Linse auf den Eintrittsspalt fokussiert
werden. Die beobachteten Effekte könnten somit auch
durch eine starke Ortsabhängigkeit der Linsentransmissionsfunktion
T (r) hervorgerufen werden.
Zwar können wir aus den in Kap.3.4 angegebenen Gründen keine expliziten
Aussagen über den Verlauf von T (r) machen. Allerdings hätten solche Einflüsse
nicht nur fatale Folgen für die Interpretation der (Θ = 92 ◦ )–Spektren.
Selbst unter flachen Einfallswinkel aufgenommene AES–Spektren würden
massiv beeinträchtigt, da die Augerelektronen räumlich fast homogen über
ihre Eintrittsfläche verteilt in die zylindersymmetrische Linse eindringen. Die
Fläche eines Kreissegments der Dicke dr wächst aber proportional zu r an, so
daß die meisten Elektronen über die äußeren ≪Ringe≫ in das Kugelspektro-