Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

108 5. Die Argon–Spektren
Somit schlägt sich dieser Effekt empfindlich in dem in Kap.2.5 beschriebenen
Reneutralisationsablauf nieder.
• Durch den sehr stark abgebremsten Strahl können Teilchen selektiv in
die ersten Kristallschichten ≪implantiert≫ werden. Das geht unmittelbar
aus den TRIM–Simulationen aus Kap.7 hervor. Ähnlich wie bei der
Halbleiterdotierung mit Bor oder Phosphor kann sich das auf die Bandstruktur
und die Leitungseigenschaften der obersten Kristallschichten
auswirken.
• Unter sehr flachem Beobachtungswinkel müssen aus dem Kristall heraus
emittierte Elektronen zunächst einen langen Weg durch die Verunreinigungsschichten
zurücklegen, wodurch sich ihre Energie und Nachweiswahrscheinlichkeit
ändert.
Falls unsere Spektren vorwiegend von Wechselwirkungen bestimmt werden
würden, welche erst innerhalb des Kristalls passieren, dann müßten sich alle
Spektren weitgehend unabhängig vom Zustand der Targetoberfläche reproduzieren
lassen. Das Vorhandensein der Präparationseffekte an sich ist also
trotz der fehlenden quantitativen Auswertungsmöglichkeiten unserer bisherigen
Experimente ein weiteres Indiz für unser Wechselwirkungsmodell.
An dieser Stelle sei betont, daß alle in den vorangegangenen Abschnitten dieses
Kapitels diskutierten Serien ohne zwischenzeitliche Präparation erfolgten.
Im Laufe solcher reinen Argon–Meßreihen auf gut vorpräparierten Wafern
ändern sich die Oberflächeneigenschaften in wesentlich geringerem Ausmaß,
als in Serien dieses Abschnitts, in denen Sauerstoff–Spektren oder Präparationsschritte
eingeschoben wurden bzw. eine quasi unpräparierte Oberfläche
vorlag.
5.5 Zusammenfassung und Schlußfolgerungen
Die in den Meßserien beobachteten Abhängigkeiten des LMM– und des MXY–
Peaks von der Energie und dem Einfallswinkel der Ar 9+ –Ionen können konsistent
mit einer vor der Oberfläche einsetzenden und dort teilweise bis zur
L–Schale reichenden Augerkaskade erklärt werden. Anhand des LMM–Peaks
konnte gezeigt werden, daß in der (Θ = 92 ◦ )–Geometrie bevorzugt vor der
Oberfläche emittierte Elektronen nachgewiesen werden.