Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

3.8. Die UHV–Kammer 71
wa einen Tag hinweg langsam hoch, um durch Temperaturgradienten und
die unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Kammermaterialien
verursachte mechanische Spannungen zu vermeiden. Anschließend
wird der Ausheizbereich für wenige Tage auf der Maximaltemperatur
von ca. 180 ◦ C belassen. Während dieser Zeit können sich Adsorbatschichten
von allen Oberflächen der Kammer lösen und Gasteilchen aus den Wänden
herausdiffundieren. Das macht sich in einem Druckanstieg zu Beginn der
Ausheizphase bemerkbar.
Nach dem Abkühlen der Kammer kann durch mehrmaliges ≪Feuern≫ der
Titansublimationspumpen und unter Einsatz der Kühlfallen ein Enddruck
von etwa 2, 2 · 10 −11 mbar erreicht werden.
Vakuummeßgeräte
Zur Anzeige des Drucks in der Targetkammer stehen ein Ionisationsvakuumeter
(Ionivac) und eine Extraktorröhre zur Verfügung. Während das Ionivac
über einen sehr weiten Meßbereich 10 −12 mbar < p < 10 −4 mbar hinweg eingesetzt
werden kann, lassen sich UHV–Drücke bis hinunter zu 10 −14 mbar (laut
Hersteller) am zuverlässigsten mit der Extraktorröhre bestimmen. Mit ihr
wurden alle in dieser Arbeit angegebenen Targetkammerdrücke gemessen.
Der Vordruck wird über ein Wärmeleitungsvakuummeter (Thermovac) kontrolliert.
Sein Einsatzbereich ist durch die mit abnehmender Teilchendichte
steigende Bedeutung gasunabhängiger Wärmeleitungsmechanismen auf
Drücke oberhalb von 10 −4 mbar limitiert.
Zur Partialdruckanalyse des Restgases und zum Lecktesten der Kammerflansche
und Durchführungen mit Heliumgas kann ein Quadrupolmassenspektrometer
angeschlossen werden, in welchem Gasteilchen nach dem Durchlaufen
einer Ionisationsstufe über ein elektrisches (Quadrupol–)Wechselfeld massensepariert
werden.
Die Funktionsweise der hier aufgeführten Meßgeräte wird ausführlich in den
zugehörigen Manuals beschrieben.