Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...
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50 3. Der experimentelle Aufbau<br />
kreisförmigen Eintrittsblende dieser Abbremslinse (Ø 4mm) und enden auf<br />
Höhe der Kristalloberfläche. Selbst unter diesen ≪idealisierten≫ Bedingungen<br />
hat der Strahlfleck auf dem Target noch einen Durchmesser von knapp einem<br />
Zentimeter.<br />
3.4 Das Auger–Elektronen–Spektrometer<br />
Zur Untersuchung der <strong>Wechselwirkungen</strong> zwischen den abgebremsten <strong>Ionen</strong><br />
und dem Siliziumtarget werden Spektren der e<strong>mit</strong>tierten (Auger)–Elektronen<br />
aufgenommen.<br />
Abbildung 3.10: Schema des Elektronenspektrometers Eine Linse bildet einen<br />
Punkt auf der Targetoberfläche auf den Eintrittsspalt ab. Die Spannungen werden<br />
von einem integrierten Computer automatisch an die gewünschte Spektrometermode<br />
angepaßt. Für die Kopplung der einzelnen Potentiale aneinander siehe Manual.<br />
Der Energieanalysator<br />
Die Energieanalyse der Elektronen geschieht <strong>mit</strong> Hilfe eines elektrostatischen<br />
150 ◦ –Kugelanalysators [42] (s. Abb.3.10). Eine vorgeschaltete Linse bildet<br />
kundärelektronenemission eine Rolle, welche durch das Auftreffen der <strong>Ionen</strong> auf die Linsenwände<br />
und Blenden ausgelöst werden kann.
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