Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

3.4. Das Auger–Elektronen–Spektrometer 51
einen Punkt der Targetoberfläche auf die Mitte seines Eintrittsspalts ab. Die
Energie der Elektronen im Analysator EAna kann über ein an seinen beiden
Abschlußblenden anliegendes Verzögerungspotential Vr eingestellt werden.
Relativ zu Vr liegen an den beiden Hemisphären entgegengesetzt gepolte
Spannungen an Vo = −Vi < 0 an. Hinter dem Analysator ist ein Sekundärelektronenvervielfacher
(Channeltron) als eigentlicher Detektor angebracht,
dessen Schnauze auf Vr liegt, während die über ihm abfallende Spannungsdifferenz
über VC geregelt wird.
Der beschriebene Aufbau ist zusammen mit einer integrierten Computersteuerung
für die Spannungen als CLAM (Combined Lense Analyzer Module)
von der Firma VG Instruments gekauft worden. In Kombination mit einer
Elektronenkanone wird das CLAM auch für AES–Messungen verwendet.
Abbildung 3.11: Transmissionsverhalten des CLAM–Spektrometers (schematisch)
Die Transmission T ändert sich in beiden Moden mit der kinetischen Energie Ekin der
Elektronen. In der CRR–Mode wächst T linear mit Ekin, in der CAE–Mode kann T
für kleine Energien durch den Einsatz der Linse konstant gehalten werden.
Spektrometermoden
Zur Aufnahme kompletter Spektren kann das Spektrometer in zwei unterschiedlichen
Moden betrieben werden, wobei der Computer die Spannungen
VL, Vr,Vi und Vo automatisch reguliert. Das über dem Channeltron abfallende
Potential VC wird manuell auf einen fixen Wert – üblicherweise ca. 2,7kV
– eingestellt.
In der sogenannten CAE–Spektrometermode (Constant Analyzer Energy)