Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

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46 3. Der experimentelle Aufbau Abbildung 3.5: Der Beamstop Hinter dem Magneten reneutralisierte Teilchen werden von den gegenüber der -20kV–Masse anliegenden, betragsgleichen Spannungen ±V nicht abgelenkt und so durch die einfahrbare Lochblende ausgefiltert, deren Kanten zur Sekundärelektronenunterdrückung kegelförmig angeschliffen sind. 3.3 Die Abbremsoptik Hinter der Extraktionsnase bewegen sich die Ionen mit einer kinetischen Energie Ekin = q · (Uextr + UQuelle + UP lasma) durch die Kammern. Uextr kennzeichnet die Extraktionsspannung und UQuelle ein an die Quelle gegenüber Erde angelegtes Zusatzpotential. Das Plasmapotential UP lasma wird an späterer Stelle auf S.60 noch erklärt und beträgt etwa +12V. Den weitaus größten Beitrag zu Ekin liefert Uextr mit -20kV, so daß bei allen Messungen annähernd gilt: Ekin � q · 20keV. Da wir die Wechselwirkungen sehr langsamer Ionen mit einem in einem Targetkammer positionierten Siliziumwafer untersuchen wollen, müssen diese
3.3. Die Abbremsoptik 47 Abbildung 3.6: Erste Abbremsstufe Das Linsensystem besteht aus fünf zylinderförmigen Elektroden (Längen: 118,5mm bzw. 120mm) mit alternierendem Radius (Ø 72,2mm bzw. 97,6mm), von denen das in Strahlrichtung erste durch eine Isolationskeramik führt und mit dem Extraktionspotential kontaktiert ist. Die verbleibenden vier Elemente werden über die eingezeichneten Durchführungen gegenüber der geerdeten Kammer mit Spannungen versorgt, s.a. Abb.3.7. Abbildung 3.7: Trajektorien in der ersten Abbremslinse An den beiden äußeren Elektroden sind die Spannungen -20kV (durch Uextr) bzw. -2kV (als Ausgangsenergie für die nächste Linse) vorgegeben; gute Werte der weiteren Linsenelemente sind (in Strahlrichtung) -5kV, -13kV und -3kV. Die Trajektorien starten am Fokuspunkt der davorliegenden Einzellinse (z = -825mm) mit Ekin = q · 20keV, einer Winkeldivergenz von ±4 ◦ und enden im Mittelpunkt der vor der letzten Abbremslinse angebrachten Lochblende (z = +17,5mm).
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7.1. Der TRIM-Code 135 Abbildung 7.
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7.1. Der TRIM-Code 137 tur des Targ
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Kapitel 8 Zusammenfassung und Ausbl
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Anhang B Ionenspektrometersimulatio
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Anhang C AUGER-Meßprogrammcode #in
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scanf ("%d", &value); } while ((val
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flushall (); /* clearing all input
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mean = ctre[i] / runs; sigma = sqrt
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printf ("Setting BG1 to continuous
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printf ("SoftwareInit\n\n"); if (er
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Literaturverzeichnis [1] R.P. Adam:
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LITERATURVERZEICHNIS 167 [20] R. D
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LITERATURVERZEICHNIS 169 [43] Chris
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Erklärung Ich erkläre, daß ich d
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