Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

46 3. Der experimentelle Aufbau
Abbildung 3.5: Der Beamstop Hinter dem Magneten reneutralisierte Teilchen werden
von den gegenüber der -20kV–Masse anliegenden, betragsgleichen Spannungen
±V nicht abgelenkt und so durch die einfahrbare Lochblende ausgefiltert, deren Kanten
zur Sekundärelektronenunterdrückung kegelförmig angeschliffen sind.
3.3 Die Abbremsoptik
Hinter der Extraktionsnase bewegen sich die Ionen mit einer kinetischen
Energie Ekin = q · (Uextr + UQuelle + UP lasma) durch die Kammern. Uextr kennzeichnet
die Extraktionsspannung und UQuelle ein an die Quelle gegenüber
Erde angelegtes Zusatzpotential. Das Plasmapotential UP lasma wird an späterer
Stelle auf S.60 noch erklärt und beträgt etwa +12V. Den weitaus größten
Beitrag zu Ekin liefert Uextr mit -20kV, so daß bei allen Messungen annähernd
gilt: Ekin � q · 20keV.
Da wir die Wechselwirkungen sehr langsamer Ionen mit einem in einem Targetkammer
positionierten Siliziumwafer untersuchen wollen, müssen diese