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Wechselwirkungen sehr langsamer hochgeladener Ionen mit einer ...

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Kapitel 3<br />

Der experimentelle Aufbau<br />

Die technische Realisation des kompletten Meßaufbaus nahm einen Hauptteil<br />

der Arbeitszeit unserer Gruppe in Anspruch, angefangen bei der Entwicklung<br />

<strong>einer</strong> leistungsfähigen <strong>Ionen</strong>quelle bis hin zur Konstruktion <strong>einer</strong> <strong>mit</strong> allen<br />

Meßsystemen ausgestatteten UHV–Targetkammer. In diesem Kapitel werden<br />

die wichtigsten Komponenten des Aufbaus und deren Funktionsprinzipien<br />

erläutert.<br />

3.1 Die EZR–<strong>Ionen</strong>quelle<br />

Aus technischer und physikalischer Sicht stellt die Erzeugung von hochgeladenen<br />

<strong>Ionen</strong> eine große Herausforderung dar. Unsere Gruppe entwickelt seit<br />

einigen Jahren Quellen für hochgeladene <strong>Ionen</strong> nach dem Elektron–Zyklotron–<br />

Resonanz (EZR) Prinzip. An dieser Stelle sind nur die wichtigsten Aspekte<br />

dieser Technologie in stark vereinfachter Form anhand unserer Quelle zusammengestellt,<br />

für weitere Details sei auf andere Arbeiten aus unserer Gruppe<br />

[1, 27, 38, 43] verwiesen.<br />

Mikrowellenheizung des Plasmas<br />

In der Vakuumkammer <strong>einer</strong> EZR–<strong>Ionen</strong>quelle wird über Mikrowelleneinstrahlung<br />

ein Plasma generiert. Um das Plasmavolumen herum befinden sich<br />

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